泉州師范學(xué)院廖廷俤獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉泉州師范學(xué)院申請的專利一種實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒行進(jìn)方向上前后兩端面成像檢測的裝置與方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號為:CN114791431B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為:202210382126.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01N21/892;該發(fā)明授權(quán)一種實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒行進(jìn)方向上前后兩端面成像檢測的裝置與方法是由廖廷俤;林曉丹;顏少彬;鄭恒;段亞凡;黃衍堂設(shè)計研發(fā)完成,并于2022-04-13向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本一種實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒行進(jìn)方向上前后兩端面成像檢測的裝置與方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明涉及一種實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒行進(jìn)方向上前后兩端面成像檢測的裝置與方法,其特征在于:在所述光學(xué)裝置的光路方向上依次設(shè)置有相機(jī)、遠(yuǎn)心成像鏡頭、合像棱鏡、第一組轉(zhuǎn)像棱鏡組件、第二組轉(zhuǎn)像棱鏡組件、半導(dǎo)體晶粒和玻璃載物轉(zhuǎn)盤,所述合像棱鏡位于遠(yuǎn)心成像鏡頭的光軸上;本檢測裝置可實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒運動方向上兩端面的動態(tài)檢測,同時降低了對成像鏡頭視場大小的要求,有效控制檢測裝置的成本;本發(fā)明檢測裝置使用的第三、第四直角轉(zhuǎn)像棱鏡安裝在玻璃載物轉(zhuǎn)盤及半導(dǎo)體晶粒的上方,無需與半導(dǎo)體晶粒表面接觸,且不會與玻璃載物轉(zhuǎn)盤產(chǎn)生干涉,可實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒在行進(jìn)方向上前、后兩端面的動態(tài)檢測。
本發(fā)明授權(quán)一種實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒行進(jìn)方向上前后兩端面成像檢測的裝置與方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種實現(xiàn)半導(dǎo)體晶粒行進(jìn)方向上前后兩端面成像檢測的裝置,其特征在于:在所述裝置的光路方向上依次設(shè)置有相機(jī)、遠(yuǎn)心成像鏡頭、合像棱鏡、第一組轉(zhuǎn)像棱鏡組件、第二組轉(zhuǎn)像棱鏡組件、半導(dǎo)體晶粒和玻璃載物轉(zhuǎn)盤,所述合像棱鏡位于遠(yuǎn)心成像鏡頭的光軸上; 所述第一組轉(zhuǎn)像棱鏡組件為對稱設(shè)置在合像棱鏡兩側(cè)的第一直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第二直角轉(zhuǎn)像棱鏡,所述第一直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第二直角轉(zhuǎn)像棱鏡的第一直角邊平行于遠(yuǎn)心成像鏡頭的光軸,所述第一直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第二直角轉(zhuǎn)像棱鏡的第二直角邊垂直于遠(yuǎn)心成像鏡頭的光軸,第一直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第二直角轉(zhuǎn)像棱鏡的斜面背向遠(yuǎn)心成像鏡頭光軸并與其形成45度夾角; 所述第二組轉(zhuǎn)像棱鏡組件為對稱設(shè)置在第一組轉(zhuǎn)像棱鏡組件下方的第三直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第四直角轉(zhuǎn)像棱鏡;第三直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第四直角轉(zhuǎn)像棱鏡的第一直角邊遠(yuǎn)離遠(yuǎn)心成像鏡頭的光軸,第三直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第四直角轉(zhuǎn)像棱鏡的第二直角邊靠近第一直角轉(zhuǎn)像棱鏡或第二直角轉(zhuǎn)像棱鏡的第二直角邊,第三直角轉(zhuǎn)像棱鏡和第四直角轉(zhuǎn)像棱鏡的斜面靠近遠(yuǎn)心成像鏡頭的光軸; 所述半導(dǎo)體晶粒由玻璃載物轉(zhuǎn)盤支撐并隨之轉(zhuǎn)動,半導(dǎo)體晶粒在行進(jìn)方向上的前、后兩端面,即半導(dǎo)體晶粒的第一端面和第二端面與遠(yuǎn)心成像鏡頭的光軸平行;所述合像棱鏡呈矩形體狀,合像棱鏡為單塊的棱鏡制成或由兩小塊對稱粘接組合形成。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)@麢?quán)人泉州師范學(xué)院,其通訊地址為:362000 福建省泉州市豐澤區(qū)東海大街398號;或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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