中國電子科技集團公司第四十一研究所于怡然獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉中國電子科技集團公司第四十一研究所申請的專利一種靈敏度增強型熱偶功率傳感芯片及傳感器獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114705907B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210339174.5,技術領域涉及:G01R21/02;該發明授權一種靈敏度增強型熱偶功率傳感芯片及傳感器是由于怡然;張亭;韓順利;楊錦鵬設計研發完成,并于2022-04-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種靈敏度增強型熱偶功率傳感芯片及傳感器在說明書摘要公布了:本發明提供了一種靈敏度增強型熱偶功率傳感芯片及傳感器,包括:襯底,所述襯底的上方設有熱電堆,所述熱電堆的上方設有共面波導,所述共面波導的上方設有石英介質片,所述共面波導連接負載終端;通過在所述共面波導上方設置石英介質,以增加熱流通路,實現所述傳感器靈敏度的提高。
本發明授權一種靈敏度增強型熱偶功率傳感芯片及傳感器在權利要求書中公布了:1.一種靈敏度增強型熱偶功率傳感芯片,其特征在于,包括:襯底,所述襯底的上方設有熱電堆,所述熱電堆的上方設有共面波導,所述共面波導的上方設有石英介質片,所述共面波導連接負載終端; 所述熱電堆包括若干個串聯連接的熱電偶,熱電堆對稱分布在負載終端周圍;所述熱電偶的熱端置于薄膜電阻附近并不超過接地板的內輪廓邊緣,所述熱電偶的冷端超過接地板的外輪廓邊緣; 通過在所述共面波導上方設置石英介質片,以增加熱流通路,實現傳感器靈敏度的提高;所述石英介質片的邊沿覆蓋熱電偶的熱端; 所述共面波導包括中央導帶線和接地板,所述中央導帶線末端連接負載終端,共面波導與負載終端相連而且兩者是阻抗匹配;所述負載終端為串聯排布的若干個薄膜電阻; 所述接地板上設有若干接地板金屬孔,等效增大熱偶區域內阻,增大熱偶功率傳感芯片的溫度差。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第四十一研究所,其通訊地址為:266555 山東省青島市經濟技術開發區香江路98號;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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