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龍圖騰網獲悉江蘇菲沃泰納米科技有限公司申請的專利連續鍍膜設備和連續鍍膜方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112281135B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011218185.5，技術領域涉及：C23C14/56；該發明授權連續鍍膜設備和連續鍍膜方法是由宗堅設計研發完成，并于2020-11-04向國家知識產權局提交的專利申請。

本連續鍍膜設備和連續鍍膜方法在說明書摘要公布了：本發明提供一連續鍍膜設備和連續鍍膜方法，其中所述連續鍍膜設備包括一輔助腔體和一工作腔體，通過對于所述輔助腔體預抽真空可以使得樣品自所述輔助腔體被直接運輸至所述工作腔體，所述工作腔體由于不需要和外部環境連通因此可以維持在預設的真空度，從而使得整個鍍膜過程連續化。

本發明授權連續鍍膜設備和連續鍍膜方法在權利要求書中公布了：1.一連續鍍膜設備，適于為待鍍膜樣品鍍膜，其特征在于，包括： 一放電裝置； 一進料裝置； 一抽真空裝置； 一工作腔體，其中所述工作腔體具有一工作腔；以及 至少一輔助腔體，其中所述輔助腔體能夠形成有一個輔助腔，所述輔助腔用于轉移樣品，其中所述放電裝置用于向所述工作腔體的所述工作腔放電，其中所述進料裝置用于向所述工作腔體的所述工作腔進料，所述工作腔體和所述輔助腔體被真空度可控地連接于所述抽真空裝置，其中每一所述輔助腔體和所述工作腔體之間具有一封閉狀態和一連通狀態并且被可操作地在所述封閉狀態和所述連通狀態之間變換，在所述連通狀態，所述輔助腔體和所述工作腔體之間能夠進行樣品轉移并且保持和外界封閉，在所述封閉狀態，所述輔助腔體和所述工作腔體之間保持獨立，其中在所述封閉狀態，至少一個被放置有該待鍍膜樣品的所述輔助腔體被提前抽真空以為連通于所述工作腔體以轉移該待鍍膜樣品做好準備，至少一個所述輔助腔體被提前抽真空以為連通于所述工作腔體以承接來自于所述工作腔體的樣品做好準備，以使得所述工作腔體在所述封閉狀態和所述連通狀態之間變換時真空度能夠被控制在預設范圍內，從而所述工作腔體能夠連續作業； 所述工作腔體具有一入口和一出口，所述工作腔體的入口與所述工作腔體的出口為所述工作腔體上不同位置的開口；所述輔助腔體的數目是兩個并且分別被實施為第一輔助腔體和第二輔助腔體，其中所述第一輔助腔體具有一第一輔助腔并且被可連通地連接于所述工作腔體的所述工作腔，所述第二輔助腔體具有一第二輔助腔并且被可連通地連接于所述工作腔體的所述工作腔，其中所述第一輔助腔體被可在通過連通所述工作腔體的所述入口以連通于所述工作腔和通過連通于所述工作腔體的所述出口以連通于所述工作腔之間變換，所述第二輔助腔體被可在通過連通所述工作腔體的所述入口以連通于所述工作腔和通過連通于所述工作腔體的所述出口以連通于所述工作腔之間變換； 當所述工作腔體的工作腔被抽至真空狀態的過程中，所述第一輔助腔體被轉移入待鍍膜樣品且也被抽真空至期望的數值；當所述工作腔體的工作腔和所述第一輔助腔體的所述第一輔助腔的真空度分別達到要求時，所述工作腔體的所述工作腔連通于所述第一輔助腔體，以使得所述第一輔助腔體內的待鍍膜樣品轉移至所述工作腔；在這個過程中，所述第二輔助腔體被放入新的待鍍膜樣品，并且被抽真空，以使得所述工作腔體完成對于第一批次的樣品的鍍膜之后，第二批次的樣品可被轉移至所述工作腔體； 被取走第一批次樣品而空置的所述第一輔助腔體被移動至所述工作腔體的取出開口位置，以用于承接來自于所述工作腔體的鍍膜完畢的第一批次樣品； 當第一批次樣品自所述工作腔體被轉移至所述第一輔助腔體，那么所述第二輔助腔體內第二批次樣品可被轉移至所述工作腔體，并且空置的所述第二輔助腔體可移動至所述工作腔體的取出開口位置，以用于承接來自于所述工作腔體的鍍膜完畢的第二批次的樣品；而所述第一輔助腔體內的第一批次樣品自所述第一輔助腔體被取出后，所述第一輔助腔體可重新被放置入新的待鍍膜樣品。

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