應用材料公司J·C·羅查-阿爾瓦雷斯獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉應用材料公司申請的專利加熱的陶瓷面板獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111954927B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980024717.0，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權加熱的陶瓷面板是由J·C·羅查-阿爾瓦雷斯;D·H·考齊設計研發完成，并于2019-03-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本加熱的陶瓷面板在說明書摘要公布了：公開一種用于在處理腔室內分配氣體的裝置。所述裝置具有主體，所述主體由分配部分形成，所述分配部分被耦接部分環繞。加熱器設置在所述分配部分內，以將所述主體加熱到高溫。橋接件延伸在所述耦接部分與所述分配部分之間。所述橋接件限制所述分配部分與所述耦接部分之間的熱傳遞。
本發明授權加熱的陶瓷面板在權利要求書中公布了：1.一種用于處理基板的面板，包括： 主體，其中所述主體包括： 第一層，包括第一電極； 第二層，包括加熱器； 第三層，包括接地電極；以及 粘結層，設置在所述第一層與所述第二層之間和所述第二層與所述第三層之間； 多個孔徑，所述多個孔徑被形成為穿過所述主體并且具有第一端和第二端，其中所述第一端位于所述第三層的外表面處，并且每個孔徑的所述第二端流體地耦接到設置在所述第一層中的一個或多個噴嘴；和 橋接件，所述橋接件從所述第三層垂直地延伸，所述橋接件包括熱扼流圈。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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