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龍圖騰網獲悉意法半導體股份有限公司申請的專利用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113860253B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110726847.8，技術領域涉及：B81B3/00；該發明授權用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法是由D·朱斯蒂;M·默利設計研發完成，并于2021-06-29向國家知識產權局提交的專利申請。

本用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法在說明書摘要公布了：本公開的各實施例涉及用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法。一種MEMS致動器，包括主體，該主體具有中心部分和外圍部分，中心部分能夠耦合到襯底，外圍部分當中心部分耦合到襯底時懸掛在襯底上方。外圍部分具有圍繞中心部分延伸并形成連續布置的膜的可變形結構。MEMS致動器包括承載結構和對應的壓電致動器。承載結構在該承載結構的頂部處被固定到可變形結構并且橫向地界定對應的空腔，每個空腔具有面向主體的中心部分并且在頂部處由膜封閉的橫向開口。膜的固定部段固定到下面的承載結構，并且懸掛部段相對于下面的承載結構橫向偏移。壓電致動器是可控制的，以引起對應的膜的變形和承載結構圍繞主體的中心部分的旋轉。

本發明授權用于MEMS快門的角壓電致動器及其制造方法在權利要求書中公布了：1.一種微機電致動器，包括： 主體，包括中心部分和外圍部分，所述中心部分能夠耦合到襯底，其中，當所述中心部分耦合到所述襯底時，所述外圍部分懸掛在所述襯底上方，并且其中，所述外圍部分包括可變形結構，所述可變形結構圍繞所述中心部分延伸并且形成連續布置的多個膜，所述外圍部分在靜止時具有螺旋平面形狀；以及 多個承載結構，每個承載結構在該承載結構的頂部處被固定到所述可變形結構、并且橫向地界定對應的空腔，所述對應的空腔具有面向所述主體的所述中心部分的橫向開口、并且在所述對應的空腔的頂部處由對應的膜封閉，所述對應的膜包括固定部段和懸掛部段，所述固定部段被附貼到下面的承載結構，所述懸掛部段相對于所述下面的承載結構橫向地偏移、并且界定所述空腔的所述橫向開口； 每個承載結構具有與該承載結構關聯的對應的壓電致動器；以及 其中，所述壓電致動器是可電控的，以便引起所述對應的膜的變形，所述變形包括所述懸掛部段的部分的向上彎曲，所述膜的所述懸掛部段的所述部分的向上彎曲引起所述承載結構圍繞所述主體的所述中心部分的旋轉。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人意法半導體股份有限公司，其通訊地址為：意大利阿格拉布里安扎；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。