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      桑迪士克科技有限責任公司伊藤康一獲國家專利權

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      龍圖騰網獲悉桑迪士克科技有限責任公司申請的專利包含水平和豎直字線互連的三維存儲器器件及其形成方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114730771B

      龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-22發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202080079867.4,技術領域涉及:H10B43/27;該發明授權包含水平和豎直字線互連的三維存儲器器件及其形成方法是由伊藤康一;田中義信;時田博文設計研發完成,并于2020-06-12向國家知識產權局提交的專利申請。

      包含水平和豎直字線互連的三維存儲器器件及其形成方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種形成三維存儲器器件的方法,該方法包括在襯底上方形成絕緣層和間隔物材料層的豎直交替序列,使得該間隔物材料層形成為導電層或隨后用導電層替換;迭代地執行第一組非偏移層圖案化加工步驟至少兩次以形成包括在第一水平方向上延伸的一組階梯式表面的臺面區的第一部分;以及執行第二組偏移層圖案化加工步驟以形成該臺面區的第二部分并且沿著與該第一水平方向垂直的第二水平方向形成該豎直交替序列的圖案化表面的階梯式豎直剖面輪廓。

      本發明授權包含水平和豎直字線互連的三維存儲器器件及其形成方法在權利要求書中公布了:1.一種形成三維存儲器器件的方法,所述方法包括: 在襯底上方形成絕緣層和間隔物材料層的豎直交替序列,其中所述間隔物材料層形成為導電層或者隨后用導電層替換; 迭代地執行第一組非偏移層圖案化加工步驟至少兩次以形成包括在第一水平方向上延伸的一組階梯式表面的臺面區的第一部分并且沿著與所述第一水平方向垂直的第二水平方向形成所述豎直交替序列的縱向側壁;以及 執行第二組偏移層圖案化加工步驟以形成所述臺面區的第二部分并且沿著與所述第一水平方向垂直的第二水平方向形成所述豎直交替序列的圖案化表面的階梯式豎直剖面輪廓。

      如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人桑迪士克科技有限責任公司,其通訊地址為:美國德克薩斯州;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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