買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉長鑫存儲技術(shù)有限公司申請的專利清洗裝置及其清洗方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN116013804B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202111231207.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)清洗裝置及其清洗方法是由郗寧設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-10-22向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本清洗裝置及其清洗方法在說明書摘要公布了：本公開提供了一種清洗裝置及其清洗方法，清洗裝置包括：清洗腔室、氣體發(fā)生器、固定組件、冷卻組件和回收組件，清洗腔室內(nèi)設(shè)有間隔設(shè)置的冷卻區(qū)域、清洗區(qū)域和加熱區(qū)域；氣體發(fā)生器用于對加熱區(qū)域升溫并生成清洗氣體；固定組件用于將半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)固定于清洗區(qū)域中，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第二面上圖形區(qū)，第二面朝向加熱區(qū)域的方向；冷卻組件與冷卻區(qū)域連通，用于對半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的第一面執(zhí)行冷卻制程，使進入圖形區(qū)的清洗氣體冷凝為清洗液體；回收組件與清洗腔室連通，用于回收再次汽化的清洗液體。本公開的清洗裝置通過清洗氣體的狀態(tài)變化對半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的圖形區(qū)進行清洗，有效減少清洗過程中表面毛細張力對圖形區(qū)的影響，提高清洗質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)清洗裝置及其清洗方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種清洗裝置，其特征在于，包括： 清洗腔室，所述清洗腔室內(nèi)構(gòu)造成依次間隔設(shè)置的冷卻區(qū)域、清洗區(qū)域和加熱區(qū)域，所述冷卻區(qū)域位于所述加熱區(qū)域的上方； 氣體發(fā)生器，用于對所述加熱區(qū)域升溫并生成清洗氣體，所述氣體發(fā)生器包括具有容納腔的殼體和加熱組件，所述容納腔用于盛放清洗劑；所述殼體包括具有開口的殼本體以及蓋設(shè)在所述開口上的罩體，所述殼本體上設(shè)有分別與所述容納腔相連通的清潔氣體管路和供液管路，所述清潔氣體管路和所述供液管路位于所述殼本體的不同側(cè)，所述清潔氣體管路用于清洗后對所述清洗腔室進行干燥處理，所述供液管路用于輸送所述清洗劑，所述罩體設(shè)置有氣體出口，所述清洗氣體由所述氣體出口向外輸出； 固定組件，用于將半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)固定于所述清洗區(qū)域中，所述半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)具有相對設(shè)置的第一面和第二面，所述第二面上具有預(yù)設(shè)深寬比的圖形區(qū)，其中，所述第二面朝向所述加熱區(qū)域的方向； 與所述冷卻區(qū)域連通的冷卻組件，用于對所述第一面執(zhí)行冷卻制程，使進入所述圖形區(qū)的所述清洗氣體冷凝為清洗液體； 回收組件，與所述清洗腔室連通，用于回收再次汽化后的所述清洗液體。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人長鑫存儲技術(shù)有限公司，其通訊地址為：230000 安徽省合肥市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)空港工業(yè)園興業(yè)大道388號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。