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龍圖騰網(wǎng)獲悉東京毅力科創(chuàng)株式會(huì)社申請(qǐng)的專利緊固結(jié)構(gòu)和緊固方法以及等離子體處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114512389B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111304593.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)緊固結(jié)構(gòu)和緊固方法以及等離子體處理裝置是由佐佐木芳彥;南雅人;佐佐木和男設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-11-05向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本緊固結(jié)構(gòu)和緊固方法以及等離子體處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種在將配設(shè)在生成等離子體的處理容器的內(nèi)部的金屬部件與覆蓋部件經(jīng)由緊固螺釘緊固的構(gòu)造中，能夠抑制堆積物向緊固螺釘?shù)念^部的附著的緊固結(jié)構(gòu)和緊固方法以及等離子體處理裝置。緊固結(jié)構(gòu)包括：多個(gè)金屬部件，其配設(shè)在處理容器的內(nèi)部，具有露出于在處理容器的內(nèi)部生成的等離子體中的露出面和螺紋孔；覆蓋部件，其以跨多個(gè)金屬部件的露出面的方式配設(shè)，具有絕緣性，并且具有貫通孔；金屬制的緊固螺釘，其具有螺釘頭部，通過將貫通孔貫通并與螺紋孔螺合而將覆蓋部件緊固于金屬部件；和覆蓋螺釘頭部的螺釘覆蓋件，螺釘覆蓋件包括：與螺釘頭部接觸的金屬制的第一基部；和覆蓋第一基部的表面的至少一部分的由陶瓷噴涂膜構(gòu)成的第一保護(hù)膜。

本發(fā)明授權(quán)緊固結(jié)構(gòu)和緊固方法以及等離子體處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種緊固結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括： 多個(gè)金屬部件，其配設(shè)在處理容器的內(nèi)部，具有露出于在所述處理容器的內(nèi)部生成的等離子體中的露出面和螺紋孔； 覆蓋部件，其以跨多個(gè)所述金屬部件的所述露出面的方式配設(shè)，具有絕緣性，并且具有貫通孔； 金屬制的緊固螺釘，其具有螺釘頭部，通過貫通所述貫通孔并與所述螺紋孔螺合而將所述覆蓋部件緊固于所述金屬部件；和 覆蓋所述螺釘頭部且具有凹部的螺釘覆蓋件， 所述螺釘覆蓋件包括：與所述螺釘頭部接觸的金屬制的第一基部；和覆蓋所述第一基部的表面的至少一部分的由陶瓷噴涂膜構(gòu)成的第一保護(hù)膜， 在所述螺釘頭部的側(cè)部形成有第一螺紋槽， 在所述螺釘覆蓋件的所述凹部的壁面形成有第二螺紋槽， 通過所述第一螺紋槽與所述第二螺紋槽螺合，且所述緊固螺釘與所述金屬部件緊固在一起，而使所述第一基部與所述金屬部件電導(dǎo)通。

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