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龍圖騰網獲悉東京毅力科創株式會社申請的專利氣體檢查方法、基板處理方法以及基板處理系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113451173B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-09-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110276490.8，技術領域涉及：H01L21/67；該發明授權氣體檢查方法、基板處理方法以及基板處理系統是由松田梨沙子;網倉紀彥設計研發完成，并于2021-03-15向國家知識產權局提交的專利申請。

本氣體檢查方法、基板處理方法以及基板處理系統在說明書摘要公布了：本發明提供一種氣體檢查方法、基板處理方法以及基板處理系統，能夠適當地對將氣體供給部中的次級閥開啟時的動作進行檢查，所述氣體供給部用于向基板處理裝置的處理容器內供給氣體。氣體檢查方法包括以下工序：輸入將次級閥開啟的信號；使用次級壓力計來測定從輸入將次級閥開啟的信號起經過了期間t的時間點的、流量控制器的節流孔的下游側的壓力P；使用次級壓力計來測定從輸入將次級閥開啟的信號起經過了期間t的時間點的、流量控制器的節流孔的下游側的壓力的標準偏差σ；將壓力P與壓力的閾值P0進行比較，并將壓力的標準偏差σ與壓力的標準偏差的閾值σ0進行比較，用以判定次級閥的開度是否正常。

本發明授權氣體檢查方法、基板處理方法以及基板處理系統在權利要求書中公布了：1.一種對氣體供給部進行檢查的氣體檢查方法，其中，所述氣體供給部用于向腔室內供給氣體， 所述氣體供給部具備： 配管，其以將氣體源與所述腔室連起來的方式被連接； 流量控制器，其設置于所述配管； 初級閥，其設置于所述流量控制器的上游側；以及 次級閥，其設置于所述流量控制器的下游側， 其中，所述流量控制器具備： 節流孔； 初級壓力計，其設置于所述節流孔的上游側；以及 次級壓力計，其設置于所述節流孔的下游側， 所述方法包括以下工序： 工序a，在所述流量控制器中設定從輸入將所述次級閥開啟的信號起經過了期間t的時間點的、所述流量控制器的所述節流孔的下游側的壓力的閾值P0及所述壓力的標準偏差的閾值σ0； 工序b，輸入將所述次級閥開啟的信號； 工序c，使用所述次級壓力計來測定從輸入將所述次級閥開啟的信號起經過了期間t的時間點的、所述流量控制器的所述節流孔的下游側的壓力P； 工序d，使用所述次級壓力計來測定從輸入將所述次級閥開啟的信號起經過了期間t的時間點的、所述流量控制器的所述節流孔的下游側的壓力的標準偏差σ；以及 工序e，將在所述工序c中測定出的壓力P與在所述工序a中設定的所述壓力的閾值P0進行比較，并將在所述工序d中測定出的壓力的標準偏差σ與在所述工序a中設定的所述壓力的標準偏差的閾值σ0進行比較，用以判定所述次級閥的開度是否正常。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東京毅力科創株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。