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龍圖騰網(wǎng)獲悉南通咸昌新材料科技有限公司申請的專利一種InGaSb三元合金多晶的雙區(qū)合成裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN120464855B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-09-05發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號(hào)為：202510970758.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C22B4/08；該發(fā)明授權(quán)一種InGaSb三元合金多晶的雙區(qū)合成裝置及方法是由張鋒;王懷利;謝月林設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-07-15向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種InGaSb三元合金多晶的雙區(qū)合成裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料制備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種InGaSb三元合金多晶的雙區(qū)合成裝置及方法，包括合成腔體、多段加熱器、雙區(qū)合成管、合成腔體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)和合成腔體底座；本發(fā)明通過采用雙區(qū)結(jié)構(gòu)合成管進(jìn)行InGaSb多晶合成，首先分別在不同溫區(qū)合成GaSb和InSb，然后再將GaSb和InSb融合合成InGaSb。與直接采用In、Ga、Sb元素進(jìn)行合成相比，本方法較可通過控制GaSb和InSb的比例來有效控制InGaSb中的元素配比。同時(shí)可有效避免在采用In、Ga、Sb元素直接合成中In在InGaSb中的偏析，提高了組分的均勻性，從而保證材料的一致性。

本發(fā)明授權(quán)一種InGaSb三元合金多晶的雙區(qū)合成裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種InGaSb三元合金多晶的雙區(qū)合成裝置，其特征在于：包括合成腔體（1）、多段加熱器（2）、雙區(qū)合成管（3）、合成腔體旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)（4）和合成腔體底座（5）； 所述合成腔體（1）用于支撐固定多段加熱器（2）和雙區(qū)合成管（3）并可充惰性氣體保護(hù)合成裝置，所述合成腔體（1）璧設(shè)有水冷盤管用于腔體降溫； 所述多段加熱器（2）每段為獨(dú)立控溫加熱的電阻絲加熱器； 所述合成腔體底座（5）上安裝有配合啟閉機(jī)構(gòu)（6），且雙區(qū)合成管（3）上設(shè)有隔檔機(jī)構(gòu)（7），所述隔檔機(jī)構(gòu)（7）與配合啟閉機(jī)構(gòu)（6）相互配合，用于對雙區(qū)合成管（3）進(jìn)行調(diào)節(jié)； 所述雙區(qū)合成管（3）包括雙區(qū)合成管主體（31）和雙區(qū)合成管封帽（32），所述雙區(qū)合成管主體（31）包含雙區(qū)合成管合成一區(qū)（33）、雙區(qū)合成管縮頸區(qū)（34）和雙區(qū)合成管合成二區(qū)（35），所述隔檔機(jī)構(gòu)（7）位于雙區(qū)合成管縮頸區(qū)（34）處； 所述雙區(qū)合成管封帽（32）設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述雙區(qū)合成管封帽（32）分別與雙區(qū)合成管合成一區(qū)（33）和雙區(qū)合成管合成二區(qū)（35）開口處焊接； 所述隔檔機(jī)構(gòu)（7）包括定位桿（71）、第一旋轉(zhuǎn)套筒（72）、第二旋轉(zhuǎn)套筒（73）、閉合板（74）和反向件（75），所述定位桿（71）的一端與雙區(qū)合成管縮頸區(qū)（34）內(nèi)壁固定連接，所述第一旋轉(zhuǎn)套筒（72）轉(zhuǎn)動(dòng)套接在定位桿（71）外側(cè)，且第一旋轉(zhuǎn)套筒（72）上設(shè)有多個(gè)旋轉(zhuǎn)槽（721），所述第二旋轉(zhuǎn)套筒（73）設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述第二旋轉(zhuǎn)套筒（73）分別轉(zhuǎn)動(dòng)套接在多個(gè)旋轉(zhuǎn)槽（721）處，所述閉合板（74）設(shè)有兩個(gè)，兩個(gè)所述閉合板（74）分別與第一旋轉(zhuǎn)套筒（72）和多個(gè)第二旋轉(zhuǎn)套筒（73）固定連接，所述第一旋轉(zhuǎn)套筒（72）的一端延伸至雙區(qū)合成管縮頸區(qū)（34）的外側(cè)且與反向件（75）連接，且其中一個(gè)第二旋轉(zhuǎn)套筒（73）的一端延伸至雙區(qū)合成管縮頸區(qū)（34）且與反向件（75）連接； 所述配合啟閉機(jī)構(gòu)（6）包括連接套筒（61）、同步塊（62）、支撐調(diào)節(jié)件（63）、環(huán)繞桿（64）和限位件（65），所述連接套筒（61）滑動(dòng)貫穿合成腔體（1）的一側(cè)，且連接套筒（61）靠近雙區(qū)合成管縮頸區(qū)（34）的一端設(shè)有連接槽（611），所述同步塊（62）位于連接槽（611）處，且同步塊（62）與第一旋轉(zhuǎn)套筒（72）的一端固定連接； 所述支撐調(diào)節(jié)件（63）件位于合成腔體（1）外側(cè)，且支撐調(diào)節(jié)件（63）用于對連接套筒（61）的位置進(jìn)行調(diào)節(jié)，所述環(huán)繞桿（64）的一端滑動(dòng)連接在連接套筒（61）內(nèi)部，且環(huán)繞桿（64）另一端與限位件（65）連接，所述限位件（65）與合成腔體底座（5）連接。

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