應(yīng)用材料股份有限公司法蘭克·辛克萊獲國家專利權(quán)
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！
龍圖騰網(wǎng)獲悉應(yīng)用材料股份有限公司申請的專利入射角度測量系統(tǒng)獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN115335954B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-12發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202180024726.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/244；該發(fā)明授權(quán)入射角度測量系統(tǒng)是由法蘭克·辛克萊;喬納森·吉羅德·英格蘭;約瑟·C·歐爾森設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-03-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。
本入射角度測量系統(tǒng)在說明書摘要公布了：公開一種能夠測量離子束特別是包括較重離子的離子束的入射角度的系統(tǒng)及方法。具體而言，公開一種入射角度測量系統(tǒng)。在一個實施例中，使用X射線而不是離子來確定溝道化方向。在另一實施例中，工件至少部分由具有高分子量的材料構(gòu)造而成，使得可測量較重離子束。此外，在另一實施例中，在整個束上測量離子束的參數(shù)，從而使得離子植入系統(tǒng)的組件能夠被進一步調(diào)整以形成更均勻的束。
本發(fā)明授權(quán)入射角度測量系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種入射角度測量系統(tǒng)，包括： 離子植入系統(tǒng)，產(chǎn)生寬的離子束； 可移動工件保持器，用于保持工件； 探測器，用于捕獲來自所述工件的發(fā)射，其中所述探測器包括沿所述離子束的寬度設(shè)置的多個傳感器，其中沿所述離子束的所述寬度的方向稱為X方向；以及 控制器，其中所述控制器旋轉(zhuǎn)所述可移動工件保持器以改變X角度并在多個X角度中的每一者處接收來自所述探測器的輸出，且其中在沿所述X方向的多個位置中的每一者處，所述離子束在所述X方向上的入射角度被確定為處于其中從相應(yīng)傳感器接收的所述輸出最小的所述X角度。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人應(yīng)用材料股份有限公司，其通訊地址為：美國加州圣塔克拉爾,鮑爾斯大道3050號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
免責(zé)聲明
1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關(guān)數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準(zhǔn)確性。
2、報告中的分析和結(jié)論僅反映本公司于發(fā)布本報告當(dāng)日的職業(yè)理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔(dān)任何法律責(zé)任的依據(jù)或者憑證。
開放平臺
擔(dān)保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數(shù)據(jù)共享
功能齊全
皖公網(wǎng)安備 34010402703815號