買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)獲悉深圳市尚鼎芯科技有限公司申請(qǐng)的專利一種提高晶圓散熱性能的方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115172301B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-08-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202210898900.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L23/373；該發(fā)明授權(quán)一種提高晶圓散熱性能的方法是由劉道國(guó)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-07-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種提高晶圓散熱性能的方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明實(shí)施例提供一種提高晶圓散熱性能的方法，包括：對(duì)碳化硅襯底進(jìn)行襯底清洗；在碳化硅襯底的背面依次進(jìn)行等離子體刻蝕處理工序、納米金剛石播種工序、金剛石形核工序、以及金剛石外延生長(zhǎng)工序，得到金剛石基碳化硅晶圓：對(duì)金剛石基碳化硅晶圓進(jìn)行高溫退火處理。本技術(shù)方案中，將具有更好導(dǎo)熱性、解理性和半導(dǎo)體性的Ⅱa型金剛石與碳化硅襯底相結(jié)合，形成金剛石基SiC晶圓，利用金剛石極佳的導(dǎo)熱性來(lái)提高晶圓散熱，并在鍵合晶圓上設(shè)置了導(dǎo)熱線，通過(guò)導(dǎo)熱線將鍵合部分的局部積熱導(dǎo)出，從而延長(zhǎng)了半導(dǎo)體器件的使用壽命。

本發(fā)明授權(quán)一種提高晶圓散熱性能的方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種提高晶圓散熱性能的方法，其特征在于，包括： 對(duì)碳化硅襯底進(jìn)行襯底清洗； 在所述碳化硅襯底的背面依次進(jìn)行等離子體刻蝕處理工序、納米金剛石播種工序、金剛石形核工序、以及金剛石外延生長(zhǎng)工序，得到金剛石基碳化硅晶圓： 對(duì)所述金剛石基碳化硅晶圓進(jìn)行高溫退火處理； 以鍵合方式在所述金剛石基碳化硅晶圓上設(shè)置導(dǎo)熱線； 所述導(dǎo)熱線為多根； 所述導(dǎo)熱線的內(nèi)側(cè)端與所述金剛石基碳化硅晶圓固定連接，所述導(dǎo)熱線的外側(cè)端向遠(yuǎn)離所述金剛石基碳化硅晶圓的方向伸出； 設(shè)置螺旋導(dǎo)熱線；其中， 所述螺旋導(dǎo)熱線以螺旋方式布置于所述金剛石基碳化硅晶圓的外側(cè)的平面內(nèi)； 所述螺旋導(dǎo)熱線的最內(nèi)側(cè)一圈與每根所述導(dǎo)熱線的外側(cè)端固定連接； 所述對(duì)所述金剛石基碳化硅晶圓進(jìn)行高溫退火處理，具體包括： 當(dāng)所述金剛石基碳化硅晶圓溫度冷卻到400℃時(shí)，通入氫氣、或氮?dú)狻⒒虻谌旌蠚怏w，所述第三混合氣體包括氫氣和氮?dú)猓?加熱所述金剛石基碳化硅晶圓； 當(dāng)所述金剛石基碳化硅晶圓升溫到預(yù)設(shè)退火溫度時(shí)，停止加熱并保溫； 通入氬氣5～10min。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人深圳市尚鼎芯科技有限公司，其通訊地址為：518055 廣東省深圳市南山區(qū)西麗街道西麗社區(qū)留新四街萬(wàn)科云城三期C區(qū)八棟A座3301房3302房；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。