株式會社斯庫林集團大西脩平獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉株式會社斯庫林集團申請的專利溫度測量方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114975151B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210137033.5，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權溫度測量方法是由大西脩平;北澤貴宏設計研發完成，并于2022-02-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本溫度測量方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種即使基板的表面和背面的輻射率均未知，也能夠準確地測量基板的表面溫度的溫度測量方法。利用來自鹵素燈的光照射對在表面安裝有熱電偶的帶熱電偶的晶片進行加熱，并且，利用熱電偶來測量該帶熱電偶的晶片的表面溫度并利用背面側輻射溫度計測量背面的溫度。基于由熱電偶測量出的帶熱電偶的晶片的溫度來校正在背面側輻射溫度計設定的輻射率。接下來，利用來自鹵素燈的光照射對在表面形成有圖案的半導體晶片進行加熱，并分別利用背面側輻射溫度計以及表面側輻射溫度計來測量該半導體晶片的背面以及表面的溫度。基于由背面側輻射溫度計測量出的半導體晶片的溫度來校正在表面側輻射溫度計設定的輻射率。
本發明授權溫度測量方法在權利要求書中公布了：1.一種溫度測量方法，測量基板的溫度，其中，包括： 第一校正工序，對在表面安裝有接觸式溫度計的第一基板進行加熱，并利用背面側輻射溫度計來測量所述第一基板的背面的溫度，基于由所述接觸式溫度計測量出的所述第一基板的溫度，對在所述背面側輻射溫度計設定的輻射率進行校正； 第二校正工序，對在表面形成有圖案的第二基板進行加熱，并分別利用所述背面側輻射溫度計以及表面側輻射溫度計測量所述第二基板的背面以及表面的溫度，基于由所述背面側輻射溫度計測量出的所述第二基板的溫度，對在所述表面側輻射溫度計設定的輻射率進行校正；以及 溫度測量工序，利用所述表面側輻射溫度計測量通過光照射而被加熱的所述第二基板的表面溫度。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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