新光電氣工業株式會社飯島信行獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉新光電氣工業株式會社申請的專利基板固定裝置及其制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112086393B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-08-19發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202010534415.2，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權基板固定裝置及其制造方法是由飯島信行;柳澤啟晴;中村祐一;高橋龍二設計研發完成，并于2020-06-12向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板固定裝置及其制造方法在說明書摘要公布了：本發明提供一種基板固定裝置和制造基板固定裝置的方法，該基板固定裝置包括：底板；靜電吸附部件，其吸附并保持基板；支撐部件，其布置在底板上以支撐靜電吸附部件；以及粘合層，其將靜電吸附部件粘合至底板。支撐部件與底板直接接觸，并與靜電吸附部件直接接觸。支撐部件的彈性模量高于粘合層的彈性模量。
本發明授權基板固定裝置及其制造方法在權利要求書中公布了：1.一種基板固定裝置，包括： 底板； 靜電吸附部件，其吸附并保持基板； 支撐部件，其布置在所述底板上以支撐所述靜電吸附部件；以及 粘合層，其將所述靜電吸附部件粘合至所述底板，其中， 所述支撐部件與所述底板直接接觸，并與所述靜電吸附部件直接接觸， 所述支撐部件的彈性模量高于所述粘合層的彈性模量， 所述支撐部件與所述靜電吸附部件和所述底板的接觸面均為平坦面，并且 所述基板固定裝置包括多個所述支撐部件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人新光電氣工業株式會社，其通訊地址為：日本長野縣；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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