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								      本發明提供了一種用于加熱可旋轉基片承載臺的加熱裝置，用以改善基片承載臺上表面各區域的溫度均勻性。該基片承載臺具有旋轉軸線，該加熱裝置位于基片承載臺下方并與基片承載臺在豎直方向上相隔一距離，加熱裝置包括一個或多個第一加熱器以及多個輔助加熱器，...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種薄膜處理裝置，其包含：將縱長形反應腔室分隔為反應空間和晶圓傳片空間的進氣隔板和排氣隔板；進氣隔板上方為進氣區域，排氣隔板上方為排氣區域，兩區域之間的晶圓處理區域用于容納承載晶圓的基座以進行薄膜沉積工藝；基座可從晶圓處理區域下...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種燃氣管道防腐涂層的粉末等離子噴涂裝置，涉及噴鍍技術領域，包括等離子噴涂機，所述等離子噴涂機外側安裝有設備驅動結構，所述設備驅動結構底部設置有導氣結構，所述導氣結構外側安裝有支撐結構，所述導氣結構包括氣泵二和支撐架二，所述支撐...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種耐磨MgCuY/Cu非晶/晶體多層薄膜及其制備方法和應用，包括采用磁控濺射技術交替疊加的非晶MgCuY層和金屬Cu層；MgCuY層中各元素的原子百分含量為Mg : 80％?88％，Cu : 3％?8％，Y : 9％?12％；...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請涉及蒸鍍的技術領域，特別是涉及一種鍍鋁膜真空蒸鍍裝置，其提高了裝置對基材的取放效率，便于對基材進行取放作業，提高了實用性；箱體的內部對稱固定安裝有兩個旋轉軸，每個旋轉軸上均縱向平行旋轉安裝有多個支撐機構；支撐機構包括支撐槽，支撐槽與旋...
								
            
							
            
							
						
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								      依據本發明的一個實施例，蒸發源包括：坩鍋單元，具有充填了有機物質的內部空間，在上面以上下方向貫穿的方式形成有噴出口，所述有機物質被加熱蒸發而形成的蒸鍍粒子通過所述噴出口噴出；及，罩子單元，配置在基板的下部，具有連通所述內部空間而讓所述內部空...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明屬于蒸鍍設備技術領域，具體為一種電子束蒸發機構、帶有上述蒸發機構的電子束蒸發鍍膜設備及方法，電子束蒸發機構包括位于底部且對稱設置的裝配底座，在裝配底座上安裝有整個電子束蒸發機構的固定結構，機構后方設有兩個冷卻水管接口；機構中央部分設有...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及一種用于藍寶石鍍膜原子氣室的制備方法和系統，其中，制備方法包括：S1.將清洗后的原子氣室放置于反應室的加熱基臺上，向反應室充入置換氣以排出其中的殘留氣體；S2.向反應室充入鋁源氣體，在原子氣室的壁面發生化學吸附以形成第一膜層；S3...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種用于提升MOCVD薄膜生長均勻性的裝置。該裝置通過設置氣體屏蔽分流罩，在分流罩上開設規律分布的通氣孔；利用通氣孔通氣面積及其分布的變化，調節氣體通路各處的流導，從而促使MOCVD反應腔內氣體在外延襯體表面流動時形成更為均勻穩...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種周期彌散強化納米多層碳基薄膜、其制備方法與應用。所述周期彌散強化納米多層碳基薄膜包括粘結層、過渡層以及強化層；粘結層包括粘結金屬；過渡層包括粘結金屬以及非晶碳；強化層包括周期性的第一亞層和第二亞層；第一亞層包括非晶碳；第二亞...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明公開了一種燃料電池金屬雙極板連續鍍膜設備，包括：多個腔體，其包括依次排列且密封相連的一個進料腔體，一個第一工藝腔體，多個第二工藝腔體，和一個出料腔體；傳送軌道，穿設于腔體中，用于將轉架及其裝載的雙極板在各腔體間進行依次輸送，腔體中設有...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明屬于人工關節制備技術領域，具體涉及一種制備具有界面融合特點的鈦碳納米多層復合涂層的方法。本發明的方法包括：S01.準備3D打印的鈦合金作為基體材料；S02.采用陰極電弧離子鍍和陽極層離子束交替制備具有界面融合特點的Ti?TiN層，Ti...
								
            
							
            
							
						
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								      本申請提供了一種耐高溫紅外隱身薄膜及耐高溫紅外隱身薄膜的制備方法，該耐高溫紅外隱身薄膜是由99～50wt.％的金屬和1～50wt.％的氧化物構成的納米多層薄膜，所述納米多層薄膜具有由金屬層和氧化物層交替組成的三層以上的疊層結構；其中，所述金...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及表面處理技術領域，公開了一種高硬度鋸齒濺射鍍膜方法，包括：多元緩蝕劑復合轉化膜處理、含硼氮化物雙層濺射鍍膜、溶膠?凝膠致密封閉層處理、化學氣相滲透強化處理和低溫等離子聚合封孔處理。該方法通過在鋸齒基體表面依次形成Cr?Mo?W?稀...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供了一種采用連續性磁控濺射進行真空鍍膜的方法及其應用，采用連續性磁控濺射進行真空鍍膜的方法包括基材除塵、清洗活化、鍍附著力增強層，沉積銅膜層，反面鍍膜等步驟；本發明還公開了在汽車承載和連接功率電子元件上進行鍍膜的應用；通過控制鍍膜功...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明涉及隔熱涂層材料技術領域，公開了一種復合隔熱涂層，包括逐層疊置的金屬粘結層、陶瓷隔熱層、陶瓷阻氧過渡層和陶瓷抗燒蝕層，所述金屬粘結層靠近待涂基體表面；所述陶瓷隔熱層為多元稀土氧化物摻雜的YSZ涂層，所述多元稀土氧化物選自CeO2、La...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明提供了一種基于超高溫陶瓷材料的復合涂層及其制備方法和應用，屬于涂層材料技術領域。本發明通過科學合理的材料設計和先進精密的制備工藝，構建基于超高溫陶瓷材料的低發射太陽能吸收涂層，將超高溫陶瓷材料創新性地引入太陽能吸收涂層體系，有望突破傳...
								
            
							
            
							
						
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								      本發明屬于涂層刀具技術領域，具體涉及一種用于刀具的復合自潤滑涂層及其制備方法，一種用于刀具的復合自潤滑涂層包括：WS2界面適配層、WS2/MoS2緩沖過渡層、TiAlMoN主承載耐磨層、TiAlMoN/Ni潤滑相復合層、W?C?N表界面功能...
								
            
							
            
							
						
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								      本公開涉及基底、沉積材料成形體及沉積材料成形體的制備方法。在一方面中，提供了一種基底，用于沉積材料成形體的制備，該基底包括：基體部分；以及應力吸收層，應力吸收層設置在基體部分上，以在應力吸收層的外表面上生長用來形成沉積材料成形體的沉積材料，...
								
            
							
            
							
						
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								      一種自旋態控制的超高磁電阻薄膜及其制備方法，屬于磁性薄膜和磁傳感領域。薄膜材料為(111)或(110)單晶MgO基底上生長的MgO/NiFe/MgO/Ta多層膜結構，利用單晶MgO基底控制NiFe的原子間距和原子排列方式，促進O原子進入Ni...
								
            
							
            
							
						
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