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								      本發明涉及一種用于處理多個襯底（32）的裝置和方法，其中襯底（32）布置在反應器殼體（1）的殼體空腔中的基座（5）的支承位置（7）上，其中制程氣體的制程氣體流（S1）從進氣構件（6）的一個或多個出氣口（6’）供給到殼體空腔中，使得制程氣體均...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型涉及抽真空裝置技術領域，且公開了一種高阻隔氧化鋁薄膜制備的抽真空裝置。該一種高阻隔氧化鋁薄膜制備的抽真空裝置包括：真空室主體，所述真空室主體的頂部活動連接有安裝管，所述安裝管的頂部固定安裝有抽氣泵，所述抽氣泵的頂部固定安裝有過濾箱...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種鉭摻雜二氧化鉿鐵電薄膜、其制備方法及應用，將Ta金屬靶材與HfO2陶瓷靶材，利用多靶材共磁控濺射設備，通過控制濺射功率，獲得具有不同Ta摻雜比例的Ta:HfO2薄膜。另外，通過調節...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及金屬材料領域，特別涉及一種耐腐蝕稀土鎂合金復合材料及其制備方法。該復合材料依次包括鎂合金基體、過渡層、功能層，所述功能層按重量份數包括改性氧化釔穩定氧化鋯粉末100份，碳納米管0.5～2.0份。本發明的耐腐蝕稀土鎂合金復合材料，通...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明屬于微波等離子體化學氣相沉積領域，具體涉及一種線性微波與線性離子源組合式化學氣相沉積裝置。包括：微波電源、矩形波導、三銷釘調配器、短路活塞、銅天線、石英管、不銹鋼沉積腔室、線性離子源、觀察測溫窗口、可水平轉動式襯底臺結構、襯底加熱系統...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種無級變速器零件表面防腐、耐磨的處理工藝，在經過軋制、沖壓等工序后的鋼板材料表面，首先使用化學鍍的方法在其表面制備Ni?W?P涂層，之后使用閉合場非平衡磁控濺射離子鍍技術制備Cr打底層和CrNiMoN涂層。本發明的無級變速器零...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及卷繞鍍膜技術領域，且公開了一種復合型多功能卷繞鍍膜機，包括固定在支撐腿底部的安裝板，所述支撐腿的頂部固定連接有濺射倉，所述濺射倉的兩側均固定連接有卷料倉，所述卷料倉的內部通過轉軸連接有卷料筒，其中一個所述卷料筒的表面設置有連接繩，...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及一種高純金屬銻的化學氣相沉積裝置及制備方法，屬于高純銻制備技術領域，所述氣相沉積裝置的封頭和反應器密封連接構成反應腔室，封頭和反應器均采用不銹鋼材質，反應器外部設有加熱器，內部設有坩堝，坩堝內壁設有耐高溫耐腐蝕涂層，該裝置強度高、...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種兼容原子層沉積和物理氣相沉積的設備，其包括：沉積室以及與沉積室配合的第一環境調節單元、第一前驅物供應單元和第二前驅物供應單元、原子層沉積激發單元和物理氣相沉積激發單元、第一傳送裝置，第一環境調節單元用于調節沉積室內的溫度...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及涂層技術領域，具體涉及一種高紅外反射涂層；包括依次向基底層上沉積的過渡層、反射輔助層、反射層以及保護層；本發明具有下述有益技術效果：提供一種反射涂層，采用無機材料沉積成復合結構，所得涂層在近紅外和遠紅外同時具備高反射率，且涂層堅固...
								
        
							
        
							
						
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								      本申請涉及一種超滑類金剛石碳基涂層、復合涂層及其制備方法，所述類金剛石碳基涂層包括碳、氫和摻雜元素，所述摻雜元素包括弱碳化物形成金屬元素、強碳化物形成金屬元素和非金屬元素；其中，所述類金剛石碳基涂層中，以碳和摻雜元素的原子總量計，碳的原子百...
								
        
							
        
							
						
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								      [課題]提供：可以抑制蝕刻后的金屬膜的表面粗糙的基板處理裝置、基板處理方法和化學溶液。[解決方案]基板處理裝置具備：基板旋轉部，其保持在表面形成有金屬的膜的基板并使其旋轉；第1供給部，其向前述基板供給包含螯合劑和溶劑的第1處理液；第2供給部...
								
        
							
        
							
						
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								      一種具有自修復性能的銅基氧化釔涂層的制備方法，包括以下步驟：將采用脈沖直流磁控濺射方式在無氧銅基體表面濺射沉積形成氧化釔涂層；將含有氧化釔涂層的無氧銅基體傳輸至冷卻室內，進行靜置冷形成涂層基體；將涂層基體送入管式爐內，并向管式爐內通入氬氫混...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明屬于材料熱噴涂技術領域，公開了一種聚丙烯腈基碳纖維輥熱噴涂Cr2O3層的方法和應用。該方法是先在聚丙烯腈基輥件基體表面進行噴砂預處理；采用火焰噴涂法以乙炔為主氣，氧氣為輔氣，在輥基體的表面噴...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明提供了一種耐高溫ITO導電玻璃及其制備方法，涉及透明導電材料領域，該ITO導電玻璃的制備方法為：先清洗玻璃基板，將干凈的玻璃基板放入磁控濺射的制備臺上，同時將ITO陶瓷靶材、SnO2陶瓷靶材和Si3
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種高溫耐磨自潤滑摻硼類金剛石涂層及其制備方法與應用，屬于涂層材料技術領域。該摻硼類金剛石涂層包括在基底表面沉積的Cr打底層、CrxByCz梯度過渡層和B?DLC...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開一種互穿網絡結構碳化鉭復合涂層、制備方法及應用，涉及石墨材料技術領域。包括如下步驟：步驟一：在石墨基底上制備互穿網絡結構碳化物涂層；步驟二：將互穿網絡結構碳化物涂層清洗、干燥后，在惰性氣氛中，以氬氣為載氣，將無機鉭鹽、烷烴和氫氣按...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明提供一種具有高遷移率的透明導電薄膜及其制備方法，涉及透明導電薄膜的技術領域，透明導電薄膜以高純度ITO陶瓷材料作為靶材，以氬氣作為工作氣體，采用磁控濺射的方法在MgO基底上進行薄膜沉積得到，其中高純度ITO陶瓷材料由質量比為9:1的I...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明屬于復合涂層制備技術領域，具體涉及一種用于涂層石墨坩堝復用的涂層修復方法。本發明將等離子體噴涂后的片層結構進行激光重熔，降低涂層表面的孔隙率，激光熔覆后的涂層面再經過真空熱壓，熱壓后的涂層內部的孔隙大大減少，同時涂層與基體、涂層與涂層...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型涉及空間原子層沉積技術領域，公開了一種傳送系統及空間原子層沉積設備，其中傳送系統包括驅動單元和載臺，驅動單元的驅動端設置有齒輪，載臺上設置有與齒輪嚙合的齒條，載臺用于在空間原子層沉積設備的反應腔室內運載待鍍工件，驅動單元用于驅使載...
								
        
							
        
							
						
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