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								      本發明涉及硅片工藝爐的技術領域，尤其涉及一種多腔管式ALD工藝爐和硅片鍍膜方法，適于為被金屬舟承載的硅片進行鍍膜，包括機架、腔體裝置、上下料裝置和抓取裝置；腔體裝置沿Y軸方向分布多列，并沿Z軸方向分布多層，其有益效果是腔體裝置在Y軸方向上排...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明尤其針對一種原子層沉積(ALD)設備(1)，包括：整體基座(2)，具有帶有凸緣邊沿(22、23)的本體(21)；及雙蓋系統(3)，包括第一蓋件(31)及第二蓋件(32)，第二蓋件相對于第一蓋件至少部分地凹陷，以在其之間限定中間空間(3...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種具有優異摩擦學性能的高sp
	2碳含量非晶碳復合薄膜及其制備方法，本發明采用中頻反應磁控沉積的制備技術，以氬氣和含碳氣體為反應氣源，利用兩個孿生金屬催化濺射靶材通過原位自形成高含量s...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種分流式CVD沉積室，涉及CVD沉積室技術領域，包括沉積筒，沉積筒內壁的固定連接有三組固定塊，三組固定塊上均固定連接有放置架。本發明通過轉動單元、吹氣單元的設置，驅動電機轉動帶動驅動軸轉動帶動三個固定齒輪進行轉動，三個固定齒輪...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種APCVD沉積過程顆粒物控制系統，屬于常壓化學沉積技術領域，包括調控噴氣頭，所述調控噴氣頭的內部通過軸承安裝有多個轉軸，且轉軸的一端延伸至調控噴氣頭的外側，每個所述轉軸位于調控噴氣頭外側的一端均固定連接有傳動齒輪，所述轉軸的...
								
        
							
        
							
						
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								      一種提高制備硬質涂層后金屬部件疲勞壽命的方法以及一種用于提高金屬部件疲勞壽命的金屬部件表層結構，方法包含以下步驟：(1)在制備硬質涂層前，應用強化技術對金屬部件基體進行強化處理，使所述金屬部件的表面形成應力狀態為壓應力的壓應力強化層；(2)...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型適用于工程機械技術領域，提供了一種擺臂式配重自裝卸機構，包括；履帶底盤；配重提升擺臂，所述配重提升擺臂設置在履帶底盤的后方，且與履帶底盤鉸接；擺臂油缸，所述擺臂油缸設置在履帶底盤后方的頂部，且與配重提升擺臂鉸接；活動配重，所述活動...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開一種有限空間內可移動式多自由度起重機，包括上下依次連接的懸臂、立柱和底座，所述懸臂包括轉接臂和轉接臂內活動卡接的延伸臂，所述轉接臂包括轉接頭和固定臂，所述立柱包括由上至下依次活動卡接的上立柱、中立柱和下立柱，所述上立柱包括接頭...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明屬于光學鍍膜技術領域，尤其涉及一種具有防油污的超黑膜結構，包括基材、采用ALD沉積在所述基材表面的結合層、采用ALD沉積在所述結合層表面的吸光層和采用ALD沉積在所述吸光層表面的防油污層，所述防油污層為含氟化合物、疏水SiO...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及導熱材料技術領域，具體涉及一種柔性導熱材料的制備方法及柔性導熱材料，包括：S10、在基板上通過微波等離子體化學氣相沉積法生長金剛石薄膜，金剛石薄膜的厚度為3?100μm；S20、對金剛石薄膜進行打孔處理，孔徑0.01?2mm，孔間...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開一種等離子體增強原子層沉積設備及方法，設備包括工藝腔室、噴淋盤、密封墊環、射頻電源和升降驅動機構，工藝腔室內支撐有晶圓，噴淋盤和密封墊環設置在工藝腔室內部，密封墊環位于晶圓的上方且與晶圓保持距離，噴淋盤位于密封墊環的上方，噴淋盤與...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種智能防傾覆的裝載式汽車起重機，涉及起重機技術領域。本發明包括：車輛；起重機裝置，包括安裝在車輛上的可轉動的起重臂；支腿裝置，包括安裝在車輛上的右千斤頂和左千斤頂；控制裝置，根據支腿裝置與地面接觸的反作用力計算起重機裝置的臨界...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及金屬清洗助劑的技術領域，公開了一種高效去污的酸性金屬清洗劑，按重量百分比計包含以下組分：非氧化性酸12?28%、緩蝕劑1.5?6%、表面活性劑4?12%、絡合劑0.8?3%、增溶劑1.5?5%、有機溶劑2?8%、pH調節劑3?10...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明關于一種鋼管拱橋上安裝塔吊的方法，利用所述上弦管作為支撐，在其上面焊接安裝所述鋼管基座并保證其安裝精度，通過灌注所述混凝土增加所述塔吊基礎強度、剛度、抗拔、抗傾覆性能，隨后考慮纜索吊系統的吊裝能力，對所述塔吊劃分為若干起吊單元，根據劃...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及一種基于風電機組塔筒本體的自爬式起重機，起重機安裝在起重機立柱上，起重機立柱通過三個抱箍連接風機塔筒，起重機立柱兩側具有T型軌道，頂端抱箍、中段抱箍通過其上的滑動軌道與起重機立柱的T型軌道連接，頂端抱箍和中段抱箍可以在起重機立柱的...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及加熱裝置、蒸發源裝置、成膜裝置、成膜方法及電子器件的制造方法。加熱裝置對容器進行加熱，容器具有：放出蒸鍍材料的開口部、第一區域及相比第一區域從開口部離開的第二區域，加熱裝置具有：對第一區域進行加熱的第一加熱器、對第二區域進行加熱的...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及LED技術領域，具體涉及一種GaP表面處理的ITO結構LED的制備方法，包括以下具體步驟：生長LED外延材料；SiO2掩膜與GaP腐蝕；GaP窗口層表面處理；ITO薄膜沉積；P電極制備；N電極制備；切割，得到...
								
        
							
        
							
						
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								      本申請涉及一種多層復合黑膜及其制備方法。該多層復合黑膜由基材層、多層膜系和頂部覆蓋層依次疊加構成，多層膜系由多個吸收層和多個氧化物層交替堆疊，層數7?30層，起始層為氧化物層，各氧化物層折射率相同（1.4?1.5），氧化物層與吸收層厚度比大...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種具備微調單元的粗精度可調型銑刀盤，涉及銑刀盤技術領域，包括銑刀盤組件，包括盤體，所述盤體上固定有刀體，所述盤體頂部固定有安裝套，所述安裝套和盤體表面之間固定有環框，所述盤體上分別開設有螺槽一和螺槽二，所述刀體內分別活動連接有...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種高精度薄膜電容器及其制備方法，涉及電容器及其制備方法領域，高精度薄膜電容器，包括襯底，所述襯底上由下到上依次設置有底電極、介質薄膜和頂電極，還包括封裝層，所述封裝層設置為將所述介質薄膜和頂電極進行封裝；所述襯底包括氧化鋁、氮...
								
        
							
        
							
						
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