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微觀裝置的制造及其處理技術(shù)

具有改善的應(yīng)力分布的MEMS器件以及其制造工藝

本公開的實施例涉及具有改善的應(yīng)力分布的MEMS器件以及其制造工藝。MEMS器件由半導(dǎo)體材料主體形成，所述半導(dǎo)體材料主體限定支撐結(jié)構(gòu)。所述半導(dǎo)體材料主體中的貫通式腔體由所述支撐結(jié)構(gòu)包圍。可移動結(jié)構(gòu)被懸置在所述貫通式腔體中。彈性結(jié)構(gòu)在所述支撐結(jié)...

2025-08-20
MEMS慣性器件結(jié)構(gòu)及制作方法

本發(fā)明涉及一種MEMS慣性器件結(jié)構(gòu)及制作方法；包括從上至下依次鍵合的上蓋板、器件層和基底，所述器件層具有敏感刻蝕區(qū)域和非敏感區(qū)域，所述敏感刻蝕區(qū)域經(jīng)刻蝕形成有慣性器件敏感結(jié)構(gòu)，所述非敏感區(qū)域設(shè)有劃片道，所述劃片道上經(jīng)刻蝕形成有第一刻透區(qū)，所...

2025-08-20
MEMS器件及其制備方法、電子裝置

一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置，該MEMS器件包括：半導(dǎo)體襯底；設(shè)置于半導(dǎo)體襯底上的可動結(jié)構(gòu)，可動結(jié)構(gòu)包括支撐部和懸臂部，其中，懸臂部在垂直于半導(dǎo)體襯底表面方向上與半導(dǎo)體襯底間隔設(shè)置，支撐部連接于半導(dǎo)體襯底與懸臂部之間；以及，設(shè)置于...

2025-08-20
一種信號觸發(fā)機(jī)構(gòu)、車輛鎖具及車輛

本發(fā)明涉及一種信號觸發(fā)機(jī)構(gòu)，信號觸發(fā)機(jī)構(gòu)包括車輛鎖具的基座、棘輪和棘爪，棘輪上設(shè)置有第一嚙合面，第一嚙合面處設(shè)置有外露的第一導(dǎo)電部，棘爪上設(shè)置有第二嚙合面，第二嚙合面處設(shè)置有外露的第二導(dǎo)電部，第一導(dǎo)電部和第二導(dǎo)電部構(gòu)成信號開關(guān)；當(dāng)?shù)谝粐Ш厦?..

2025-08-20
一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法

本發(fā)明提供了一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法，涉及微器件制備領(lǐng)域。本發(fā)明在進(jìn)行刻蝕前，在介質(zhì)層上形成光刻膠圖形和導(dǎo)電膜層，該導(dǎo)電膜層對拐角不敏感，臺階覆蓋性和厚度均一性較好，具有一定的導(dǎo)電性。在不改變原有的刻蝕條件下，通過增加導(dǎo)電膜層，使得在刻...

2025-08-20
一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法

本發(fā)明提供了一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法，涉及微器件制備領(lǐng)域。本發(fā)明中，采用相同的刻蝕速率對第一介質(zhì)層和光刻膠圖形進(jìn)行刻蝕，從而將第一介質(zhì)層刻蝕形成目標(biāo)圖形，目標(biāo)圖形與光刻膠圖形相同，在刻蝕完成后，目標(biāo)圖形的側(cè)壁底部會形成缺口，本發(fā)明針對形...

2025-08-20
具有通過電磁致動控制的可傾斜懸置結(jié)構(gòu)的MEMS設(shè)備

MEMS設(shè)備通過以下方式獲得：在半導(dǎo)體本體上形成臨時偏置結(jié)構(gòu)；以及在半導(dǎo)體本體上形成致動線圈，致動線圈至少具有一個第一端匝、一個第二端匝、以及中間匝，中間匝被布置在第一端匝和第二端匝之間，并且通過臨時偏置結(jié)構(gòu)被電耦合至第一端匝。以此方式，在...

2025-08-20
具有變形傳感器的壓電致動器及其制造方法

MEMS致動器由以下部件形成：基底，圍繞腔體；可變形結(jié)構(gòu)，懸置在腔體上；致動結(jié)構(gòu)，由第一壓電材料的第一壓電區(qū)域形成，由可變形結(jié)構(gòu)支撐并且被配置為引起可變形結(jié)構(gòu)的變形；以及檢測結(jié)構(gòu)，由第二壓電材料的第二壓電區(qū)域形成，由可變形結(jié)構(gòu)支撐并且被配置...

2025-08-20
氣相色譜芯片結(jié)構(gòu)及其制備方法

本發(fā)明提供了一種氣相色譜芯片結(jié)構(gòu)及其制備方法，通過在硅基板設(shè)置貫穿所述硅基板的蛇形或螺旋形微溝道、載氣通道以及檢測腔體，采用鍵合上下蓋板密封形成三明治結(jié)構(gòu)的完整流路，從而實現(xiàn)微溝道、載氣通道以及檢測腔體的三維集成，進(jìn)而消除分立器件的連接管路...

2025-08-20
一種T細(xì)胞檢測試劑盒

本實用新型公開了一種T細(xì)胞檢測試劑盒，包括上下分布的上盒體和下盒體，所述上盒體和下盒體的后端面通過合頁鉸接，所述上盒體和下盒體的前端面均開設(shè)有沿其長度方向深入的保冷槽，所述保冷槽內(nèi)設(shè)置有保冷袋，所述保冷槽的開口處設(shè)置有密封蓋并通過緊固件鎖緊...

2025-08-20
一種門鎖自動上鎖機(jī)構(gòu)

本發(fā)明為汽車門鎖技術(shù)領(lǐng)域，提出一種門鎖自動上鎖機(jī)構(gòu)，包括：卡板、棘爪和安裝板，卡板和棘爪分別轉(zhuǎn)動設(shè)于安裝板上，且卡板和棘爪在安裝板上設(shè)有對應(yīng)的彈性復(fù)位部，在安裝板上設(shè)有鎖槽，卡板和棘爪分別位于鎖槽的兩側(cè)，驅(qū)使卡板經(jīng)過鎖槽與棘爪卡接。通過獨(dú)特...

2025-08-20
一種車門鎖扣控制方法、裝置及車輛

本申請公開了一種車門鎖扣控制方法、裝置及車輛，涉及車輛控制技術(shù)領(lǐng)域。方法包括：在檢測到車門開啟的情況下，獲取車門動作信號；根據(jù)車門動作信號，確定車門的動作方向和車門的實時行程；動作方向包括打開方向和關(guān)閉方向；根據(jù)動作方向和實時行程，控制門鎖...

2025-08-20
一種設(shè)備進(jìn)出艙室時保護(hù)裝置

本實用新型提供一種設(shè)備進(jìn)出艙室時保護(hù)裝置，包括兩端開口的筒體，所述筒體通過過渡接頭與艙口固定，還包括與所述筒體上端外側(cè)壁固定連接的操作平臺，所述筒體下端側(cè)壁設(shè)有供設(shè)備進(jìn)出的通口，還包括可與所述筒體頂端開口開啟閉合的頂蓋，所述頂蓋里側(cè)設(shè)有滑輪...

2025-08-20
一種采用活動支撐的微鏡結(jié)構(gòu)及制造方法

本發(fā)明公開了一種采用活動支撐的微鏡結(jié)構(gòu)及制造方法，微鏡結(jié)構(gòu)包括：設(shè)于襯底上的微橋結(jié)構(gòu)，所述微橋結(jié)構(gòu)包括支撐及電連接柱，和活動支撐于所述支撐及電連接柱上的微橋橋面；所述微橋橋面上設(shè)有微鏡鏡面，所述微鏡鏡面與所述支撐及電連接柱之間形成電連接，所...

2025-08-20
可開關(guān)控制的雙工作波段高品質(zhì)因子超表面?zhèn)鞲衅骷跋到y(tǒng)

本發(fā)明公開了一種可開關(guān)控制的雙工作波段高品質(zhì)因子超表面?zhèn)鞲衅骷跋到y(tǒng)。本發(fā)明的超表面?zhèn)鞲衅靼ㄒr底和全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)陣列；全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)陣列包括若干個全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)單元，所述的全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)單元呈四葉草結(jié)構(gòu)，由四個半徑大小相等的...

2025-08-20
用于制造具有移動結(jié)構(gòu)的微機(jī)電裝置、特別是微鏡的方法

本申請的實施方式涉及用于制造具有移動結(jié)構(gòu)的微機(jī)電裝置、特別是微鏡的方法。底部半導(dǎo)體區(qū)域被形成為包括：主子區(qū)域，延伸穿過覆蓋半導(dǎo)體晶片的底部介電區(qū)域；以及次子區(qū)域，次子區(qū)域覆蓋底部介電區(qū)域并圍繞主子區(qū)域。第一頂部腔室和第二頂部腔室被形成為穿過...

2025-08-20
微機(jī)電傳感器及其制造方法

本發(fā)明公開了一種微機(jī)電傳感器及其制造方法，微機(jī)電傳感器包括：埋層，包括多個第一增高區(qū)域；位于埋層上的多個檢測電極和多個布線電極，多個檢測電極分別覆蓋多個第一增高區(qū)域；位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個檢測電極和多個布線...

2025-08-20
微機(jī)電傳感器及其制造方法

公開了一種微機(jī)電傳感器及其制造方法，微機(jī)電傳感器包括：位于襯底上的埋層，埋層上設(shè)置有多個檢測電極和多個布線電極；位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個檢測電極和多個布線電極互不接觸；位于扭擺臂上方的扭擺和多個可動扭擺塊，多...

2025-08-20
一種基于微納技術(shù)的雙軸硅電容高精度加速度計

本發(fā)明涉及高精度加速度計技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基于微納技術(shù)的雙軸硅電容高精度加速度計，包括兩個同軸設(shè)置的微機(jī)械傳感單元，兩個微機(jī)械傳感單元上下相互垂直設(shè)置，微機(jī)械傳感單元包括硅襯底，硅襯底的上方設(shè)置有敏感質(zhì)量塊，硅襯底與敏感質(zhì)量塊之間對稱...

2025-08-20
一種基于氧化鈣的疏水改性來加熱保溫食品的方法

本發(fā)明公開了一種基于氧化鈣的疏水改性來加熱保溫食品的方法，屬于功能材料領(lǐng)域。本發(fā)明所述的一種基于氧化鈣的疏水改性來加熱保溫食品的方法，采用了疏水改性的氧化鈣；其中，疏水改性的氧化鈣的制備方法包括如下步驟：(1)將疏水劑溶于溶劑中，得到疏水劑...

2025-08-20

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