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      微觀裝置的制造及其處理技術
      • 本實用新型公開了一種傳感器芯片,其特征在于,所述傳感器芯片包括多層結構,所述多層結構包括:硅襯底;硅襯底具有在其厚度方向相對而設的第一側和第二側,背板、犧牲層以及振膜層疊設置于第一側;犧牲層設置于背板以及振膜之間;背板為多邊形結構;振膜上設...
      • 本發明提供一種可實時調控圖案形狀的微納材料薄膜制備方法,包括:制備微納材料分散液;使用遮擋圖案對支撐膜部分區域的通孔進行遮擋,再將帶有遮擋圖案的支撐膜放置于微納材料分散液表面,使遮擋圖案位于氣液界面上方、不接觸分散液;加熱分散液,在支撐膜的...
      • 本實用新型公開了一種無塵拖鏈保護裝置,包括:保護箱與箱蓋,箱蓋設置在保護箱的上端面上;減震板,其滑動設置在保護箱的內側壁上;放置槽,其設置在減震板的上端面上;減震組件,其包括用于對減震板起到緩沖功能的緩沖結構、及用于對減震板起到輔助緩沖的輔...
      • 本發明提供一種太赫茲超材料生物傳感器,涉及太赫茲技術領域,由若干個傳感單元拼接組成;傳感單元包括襯底層和介電質層;介電質層設置在襯底層上;介電質層包括5×5陣列分布的25個微納單元;微納單元包括圓柱體和3個相同的長方體;3個長方體均設置在圓...
      • 本發明公開了一種基于二硫化鉬異質結的氣壓傳感器及制備方法,屬于氣壓傳感器技術領域,包括基座、電極和異質結;基座中部設置有微腔,異質結對應微腔設置,該異質結包括與電極接觸連接的單層石墨烯薄膜和與單層石墨烯接觸連接的單層二硫化鉬薄膜,以在氣壓發...
      • 本發明公開了包裝箱技術領域的一種用于儀表板橫梁的物流器具及其包裝方法,旨在解決現有技術中儀表板橫梁包裝方式緩震欠佳、固定不牢、包裝空間利用率低的技術問題。所述物流器具包括不少于兩個沿縱向分布的器具本體,器具本體的本體頂面向內凹陷形成有容腔,...
      • 本實用新型涉及試劑盒設備技術領域,且公開了一種動物呼吸道核酸檢測試劑盒,包括盒體,所述盒體的內部固定連接有固定塊,所述固定塊的一側固定連接有清潔塊,所述清潔塊的頂部開設有第一矩形槽,所述第一矩形槽的內底壁固定連接有液壓桿。該動物呼吸道核酸檢...
      • 本實用新型公開了一種用于泡打粉生產的防潮裝置,涉及泡打粉生產領域,包括殼體以及殼體內部設置的防潮箱,且防潮箱的上端開設有第一出氣口,并且殼體的左右兩側開設有第二出氣口,所述殼體的上端固定安裝有鼓風機,所述殼體的上端貫穿安裝有空腔。該用于泡打...
      • 本實用新型公開了一種用于西瓜種苗的運輸裝置,其包括運輸框架,運輸框架包括頂板和底板,頂板和底板之間通過兩側的豎板相連,且頂板和底板之間均勻設置有多塊固定于兩側豎板上的支撐板,支撐板用以放置西瓜種苗,運輸框架上設置有用于西瓜種苗的保溫組件,保...
      • 本發明公開了一種Lift?off制程中改善金屬膜圖形異常的方法及芯片結構,所述方法包括以下步驟:S1:提供一襯底,所述襯底上依次形成有氧化硅犧牲層和功能層;S2:于所述功能層表面涂敷光刻膠,并進行圖形化處理;S3:采用Ar等離子體或N
      • 本發明涉及一種用于晶圓鍵合設備的加熱冷卻系統,包括基礎單元、加熱單元和冷卻單元,基礎單元包括上盤、加熱倉和下盤,加熱倉用于容置待鍵合的晶圓并為其提供真空環境;上盤和下盤可被驅動的相互靠近以以對晶圓施加設定的壓力;加熱單元的上加熱器和下加熱器...
      • 本實用新型涉及儲存設備技術領域,且公開了一種壓片機模具儲存裝置,包括存放箱,所述存放箱的內側設置有多層安置盒,所述安置盒的內側設置有膠墊,所述膠墊的表面開設有多個放置槽,所述安置盒的表面活動安裝有提環,所述多層安置盒之間存在空隙;本裝置中,...
      • 本實用新型公開了一種大扭力帶自鎖執行器,涉及汽車執行器領域,包括殼體、上蓋、傳動組件、自鎖機構以及電路板,所述殼體和上蓋相互配合,所述傳動組件、自鎖機構及電路板均安裝于殼體內,傳動組件和自鎖機構均與電路板連接。本實用新型的執行器通過傳動齒輪...
      • 本實用新型公開了一種信號檢測的防撞設備,屬于信號檢測設備技術領域,包括箱體和設備主體,箱體和設備主體的之間設置有阻尼墊,阻尼墊粘接于箱體的內側壁;設備主體的背面粘接有多個橡膠墊,每個橡膠墊上均粘接有連接板,連接板上固定連接有套管,套管的內部...
      • 本實用新型公開了一種防水防潮功能型紙箱,涉及到防水防潮紙箱技術領域,包括箱體,所述箱體頂面設有箱蓋,所述箱蓋左右兩面均開設有放置槽,兩個所述放置槽內壁的相對一側均開設有加熱腔,兩個所述放置槽內壁的相反一方均固定連接有第一海綿塊,所述放置槽的...
      • 本發明提供了一種可防止鏡面形變的MEMS掃描鏡及制備方法,制備方法包括:準備SOI晶圓;在所述器件層的上表面依次生長底電極層和PZT壓電薄膜層,并依次刻蝕所述PZT壓電薄膜層和底電極層,僅保留與所述壓電驅動梁對應的PZT壓電薄膜層和底電極層...
      • 本申請涉及現場勘察領域,且公開了一種現場痕跡提取裝置,包括儲存盒、右存放盒和箱體,箱體內部的頂端活動安裝有操作臺,操作臺的內部活動安裝有掃刷,收集盒一側的箱體內部活動安裝有刮板,操作臺底部的箱體內部活動安裝有儲存盒,軸桿的外圍活動安裝有防護...
      • 本實用新型涉及蛋類包裝盒技術領域,公開了一種蛋類包裝盒,包括兩個相連接且能夠開合的蛋托,兩個蛋托的相對側設置有多個蛋槽,兩個蛋托相對的蛋槽能夠組合形成容納蛋類的容納腔,兩個蛋托開設有與蛋槽相連通的透氣孔,相鄰的蛋槽之間形成有連通槽,連通槽連...
      • 本實用新型公開了一種干細胞低溫保存裝置,涉及干細胞低溫保存技術領域,包括液氮存儲殼,所述液氮存儲殼頂端通過螺栓固定連接有頂板,所述頂板內壁固定連接有放置筒,所述放置筒內壁對稱穿設有多個方形通孔,所述放置筒頂端轉動連接有旋轉環,所述旋轉環底端...
      • 本發明公開了一種MEMS慣性開關的制備方法及MEMS慣性開關。其中,該方法包括:對玻璃基底進行多次旋涂光刻膠、光刻顯影、電鍍處理和平坦化處理,形成包括多孔十字交叉梁柔性固定電極、蛇形彈簧及螺旋形彈簧的微納復合結構;去除所述微納復合結構的犧牲...
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