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                  		微觀裝置的制造及其處理技術
                  	
                  
      
                
      
                
      
                    
        
					
						
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								      本發明提供一種壓阻式角度反饋傳感器MOEMS微鏡制備方法， 它包括以下步驟：(1)襯底層制作， (2)SOI層制作， (3)鍵合晶圓制作。本發明可實現靜電驅動微鏡與介質隔離壓阻式反饋傳感器集成制造， 可以將壓敏電阻的漏電流降低到幾個nA量級...
								
        
							
        
							
						
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								      本申請涉及一種MEMS器件的制備方法及其制備裝置。MEMS器件的制備方法包括：提供包括粘結膜層以及粘設于粘結膜層上的多個MEMS器件的待清洗MEMS組件；MEMS器件具有襯底層和結構層， MEMS器件的所述襯底層背離所述結構層的一側朝向粘結...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種夾套裝置， 其屬于液體儲存技術領域， 包括殼體和導流板。殼體套設于內筒體的外周， 殼體內部形成容置空間， 殼體上開設有連通于容置空間的進水口和出水口， 容置空間內自進水口至出水口之間設置有多個導流板， 導流板能夠阻擋流體...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種汽車車門用驅動機構， 包括殼體、蓋板、控制板、傳動電機、同步輪一、同步帶、同步輪二、齒輪一、齒輪二、張緊輪和繞線輪， 傳動電機通過同步輪一、同步帶帶動同步輪二轉動， 同步輪二帶動齒輪一轉動， 齒輪一帶動齒輪二轉動， 齒輪...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型涉及儀表保護技術領域， 具體是指一種用于儀表的保護裝置， 包括箱體， 箱體正面設有第一通風口， 且底端設有第二通風口， 第一通風口的外側設有第一保溫活門， 箱體的外壁上設有支撐板， 第一保溫活門設置在支撐板頂端， 且第一保溫活門的...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種冷鏈食品包裝裝置， 涉及食品包裝技術領域。包括：安裝有箱蓋的包裝殼體， 支撐隔板， 固定設置于包裝殼體的內壁， 溫控機構， 設于包裝殼體內， 溫控機構包括溫控盒、多個冰袋和固定部件， 溫控盒滑動嵌設于包裝殼體的內壁， 每...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型涉及瓦楞紙箱技術領域， 具體為一種防形變減震波浪形瓦楞紙箱， 包括紙箱外殼， 所述紙箱外殼的內壁安裝有第一U型波浪瓦楞板， 所述第一U型波浪瓦楞板的外壁安裝有第一隔斷組件， 所述第一隔斷組件的內壁安裝有V型波浪瓦楞板， 所述V型波...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種全蝎袋式包裝結構， 涉及全蝎存儲技術領域， 其包括：袋體的開口端設置有封條和脫氧模塊， 脫氧模塊包括封包、粘接片和易撕片， 粘接片至少一個面為粘接面且貼在袋體的開口端內壁， 粘接片的另一面連接封包的外壁；封包的內部分為兩...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型提供一種車燈模具保溫裝置， 屬于模具加熱與溫度控制技術領域， 包括保溫箱， 包括適配安裝于保溫箱內壁兩側的溫控機；導向機構， 包括固定安裝于保溫箱外表面底部的電機架， 保溫箱的外表面底部還固定連接有固定盒；固定機構， 包括固定板，...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種具有緩沖作用的物料包裝箱， 涉及包裝箱技術領域。本實用新型包括箱體一， 箱體一上部周側設有四個箱蓋， 箱體一內放置有緩沖組件；緩沖組件包括四個緩沖板， 相鄰兩個緩沖板之間彈性配合有連接桿， 緩沖板的上側裝設有L形支撐板一...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及一種用于封閉在MEMS元件的柔性膜片中的開口的方法， 所述方法包括以下步驟：?提供在所述柔性膜片中的至少一個開口， ?將封閉材料布置在所述至少一個開口的區域中， ?至少使施加在所述至少一個開口的區域中的所述封閉材料熔化并且隨后使熔...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種用于巖土工程勘測的土樣保存裝置， 包括保管罐整體結構， 所述保管罐整體結構包括保管罐殼體、樣品管放置筒、樣品傾倒漏斗和管體密封蓋板， 所述保管罐殼體嵌套安裝在樣品管放置筒的外側， 且保管罐殼體的頂端設置有漏斗支撐管頭， 所述...
								
        
							
        
							
						
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								      本申請涉及一種MEMS晶圓的分割方法。MEMS晶圓的分割方法包括提供MEMS晶圓， MEMS晶圓包括基底層及設于基底層之上的結構層， 結構層具有犧牲層；MEMS晶圓具有多個陣列排布的MEMS器件單元及位于每相鄰兩個MEMS器件單元之間的切割...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型提供一種新型濕法稀釋裝置， 包括一級稀釋池和二級稀釋池， 一級稀釋池和二級稀釋池之間設置有取樣結構， 并通過取樣結構相互連通；一級稀釋池的一側設置有一級稀釋液可控輸入結構， 二級稀釋池的一側設置有二級稀釋液可控輸入結構；一級稀釋池...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開一種制備錐形硅基實心微針陣列的方法， 包括：(1)選取單拋單晶硅片， 所述單拋單晶硅片包括彼此相反的拋光面和第二表面， 在拋光面和第二表面上分別沉積氮化硅保護膜， 利用磁控濺射在拋光面的氮化硅保護膜上鍍鋁保護膜；(2)利用光刻工藝...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及醫藥物流技術領域， 提供一種具有防護功能的醫療藥品運輸存儲裝置， 包括：基座， 被設置對放置的醫療藥品進行吸附固定， 提升穩定性， 且安裝在殼體的內部；抬升架， 用于對太陽能板進行自行抬升， 所述抬升架的上端安裝有抬升桿二， 所述...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種植物病蟲害葉片檢疫標本采樣盒， 屬于檢疫標本采樣盒技術領域， 本發明包括用來攜帶運輸葉片的收納盒， 且收納盒的中心位置固定安裝有隔板；所述隔板的中間貫穿旋轉安裝有中心柱， 且中心柱的上下端分別彈性升降安裝有活動托板， 并且活...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種地磁傳感器與MCU的微型化單片集成方法。所述方法包括以下步驟：(1)低溫CMOS電路層制備， (2)TSV三維互聯結構加工， (3)無磁芯平面線圈制作， (4)低溫電磁屏蔽層集成， (5)結構釋放與真空封裝。本發明通過無磁芯...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了速溶茶功能成分隔離保護裝置， 涉及速溶茶保護技術領域， 改善現有技術中， 在將茶葉放于保護裝置內隔離時， 由于固定方式不太好， 容易降低密封性， 繼而導致茶葉受到外界因素發生降解的問題， 包括底盤， 所述底盤上固定安裝有保護...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種LED箱體運輸保護裝置及其箱體， 涉及LED箱體領域， 包括運輸組件， 所述運輸組件頂部安裝有減震組件， 所述減震組件的內部安裝有保護組件， 所述運輸組件用于運輸LED箱體， 所述減震組件用于減少在運輸工程中產生的震動，...
								
        
							
        
							
						
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