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      微觀裝置的制造及其處理技術(shù)
      • 一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置,該MEMS器件包括:半導(dǎo)體襯底;設(shè)置于半導(dǎo)體襯底上的可動結(jié)構(gòu),可動結(jié)構(gòu)包括支撐部和懸臂部,其中,懸臂部在垂直于半導(dǎo)體襯底表面方向上與半導(dǎo)體襯底間隔設(shè)置,支撐部連接于半導(dǎo)體襯底與懸臂部之間;以及,設(shè)置于...
      • 本發(fā)明涉及一種信號觸發(fā)機(jī)構(gòu),信號觸發(fā)機(jī)構(gòu)包括車輛鎖具的基座、棘輪和棘爪,棘輪上設(shè)置有第一嚙合面,第一嚙合面處設(shè)置有外露的第一導(dǎo)電部,棘爪上設(shè)置有第二嚙合面,第二嚙合面處設(shè)置有外露的第二導(dǎo)電部,第一導(dǎo)電部和第二導(dǎo)電部構(gòu)成信號開關(guān);當(dāng)?shù)谝粐Ш厦?..
      • MEMS設(shè)備通過以下方式獲得:在半導(dǎo)體本體上形成臨時偏置結(jié)構(gòu);以及在半導(dǎo)體本體上形成致動線圈,致動線圈至少具有一個第一端匝、一個第二端匝、以及中間匝,中間匝被布置在第一端匝和第二端匝之間,并且通過臨時偏置結(jié)構(gòu)被電耦合至第一端匝。以此方式,在...
      • 本發(fā)明提供了一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法,涉及微器件制備領(lǐng)域。本發(fā)明在進(jìn)行刻蝕前,在介質(zhì)層上形成光刻膠圖形和導(dǎo)電膜層,該導(dǎo)電膜層對拐角不敏感,臺階覆蓋性和厚度均一性較好,具有一定的導(dǎo)電性。在不改變原有的刻蝕條件下,通過增加導(dǎo)電膜層,使得在刻...
      • 本發(fā)明提供了一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法,涉及微器件制備領(lǐng)域。本發(fā)明中,采用相同的刻蝕速率對第一介質(zhì)層和光刻膠圖形進(jìn)行刻蝕,從而將第一介質(zhì)層刻蝕形成目標(biāo)圖形,目標(biāo)圖形與光刻膠圖形相同,在刻蝕完成后,目標(biāo)圖形的側(cè)壁底部會形成缺口,本發(fā)明針對形...
      • MEMS致動器由以下部件形成:基底,圍繞腔體;可變形結(jié)構(gòu),懸置在腔體上;致動結(jié)構(gòu),由第一壓電材料的第一壓電區(qū)域形成,由可變形結(jié)構(gòu)支撐并且被配置為引起可變形結(jié)構(gòu)的變形;以及檢測結(jié)構(gòu),由第二壓電材料的第二壓電區(qū)域形成,由可變形結(jié)構(gòu)支撐并且被配置...
      • 本發(fā)明提供了一種氣相色譜芯片結(jié)構(gòu)及其制備方法,通過在硅基板設(shè)置貫穿所述硅基板的蛇形或螺旋形微溝道、載氣通道以及檢測腔體,采用鍵合上下蓋板密封形成三明治結(jié)構(gòu)的完整流路,從而實現(xiàn)微溝道、載氣通道以及檢測腔體的三維集成,進(jìn)而消除分立器件的連接管路...
      • 本實用新型公開了一種T細(xì)胞檢測試劑盒,包括上下分布的上盒體和下盒體,所述上盒體和下盒體的后端面通過合頁鉸接,所述上盒體和下盒體的前端面均開設(shè)有沿其長度方向深入的保冷槽,所述保冷槽內(nèi)設(shè)置有保冷袋,所述保冷槽的開口處設(shè)置有密封蓋并通過緊固件鎖緊...
      • 本發(fā)明為汽車門鎖技術(shù)領(lǐng)域,提出一種門鎖自動上鎖機(jī)構(gòu),包括:卡板、棘爪和安裝板,卡板和棘爪分別轉(zhuǎn)動設(shè)于安裝板上,且卡板和棘爪在安裝板上設(shè)有對應(yīng)的彈性復(fù)位部,在安裝板上設(shè)有鎖槽,卡板和棘爪分別位于鎖槽的兩側(cè),驅(qū)使卡板經(jīng)過鎖槽與棘爪卡接。通過獨(dú)特...
      • 本申請公開了一種車門鎖扣控制方法、裝置及車輛,涉及車輛控制技術(shù)領(lǐng)域。方法包括:在檢測到車門開啟的情況下,獲取車門動作信號;根據(jù)車門動作信號,確定車門的動作方向和車門的實時行程;動作方向包括打開方向和關(guān)閉方向;根據(jù)動作方向和實時行程,控制門鎖...
      • 本實用新型提供一種設(shè)備進(jìn)出艙室時保護(hù)裝置,包括兩端開口的筒體,所述筒體通過過渡接頭與艙口固定,還包括與所述筒體上端外側(cè)壁固定連接的操作平臺,所述筒體下端側(cè)壁設(shè)有供設(shè)備進(jìn)出的通口,還包括可與所述筒體頂端開口開啟閉合的頂蓋,所述頂蓋里側(cè)設(shè)有滑輪...
      • 本發(fā)明公開了一種采用活動支撐的微鏡結(jié)構(gòu)及制造方法,微鏡結(jié)構(gòu)包括:設(shè)于襯底上的微橋結(jié)構(gòu),所述微橋結(jié)構(gòu)包括支撐及電連接柱,和活動支撐于所述支撐及電連接柱上的微橋橋面;所述微橋橋面上設(shè)有微鏡鏡面,所述微鏡鏡面與所述支撐及電連接柱之間形成電連接,所...
      • 本發(fā)明公開了一種可開關(guān)控制的雙工作波段高品質(zhì)因子超表面?zhèn)鞲衅骷跋到y(tǒng)。本發(fā)明的超表面?zhèn)鞲衅靼ㄒr底和全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)陣列;全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)陣列包括若干個全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)單元,所述的全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)單元呈四葉草結(jié)構(gòu),由四個半徑大小相等的...
      • 本申請的實施方式涉及用于制造具有移動結(jié)構(gòu)的微機(jī)電裝置、特別是微鏡的方法。底部半導(dǎo)體區(qū)域被形成為包括:主子區(qū)域,延伸穿過覆蓋半導(dǎo)體晶片的底部介電區(qū)域;以及次子區(qū)域,次子區(qū)域覆蓋底部介電區(qū)域并圍繞主子區(qū)域。第一頂部腔室和第二頂部腔室被形成為穿過...
      • 本發(fā)明公開了一種微機(jī)電傳感器及其制造方法,微機(jī)電傳感器包括:埋層,包括多個第一增高區(qū)域;位于埋層上的多個檢測電極和多個布線電極,多個檢測電極分別覆蓋多個第一增高區(qū)域;位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂,扭擺臂、多個檢測電極和多個布線...
      • 公開了一種微機(jī)電傳感器及其制造方法,微機(jī)電傳感器包括:位于襯底上的埋層,埋層上設(shè)置有多個檢測電極和多個布線電極;位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂,扭擺臂、多個檢測電極和多個布線電極互不接觸;位于扭擺臂上方的扭擺和多個可動扭擺塊,多...
      • 本發(fā)明公開了一種基于氧化鈣的疏水改性來加熱保溫食品的方法,屬于功能材料領(lǐng)域。本發(fā)明所述的一種基于氧化鈣的疏水改性來加熱保溫食品的方法,采用了疏水改性的氧化鈣;其中,疏水改性的氧化鈣的制備方法包括如下步驟:(1)將疏水劑溶于溶劑中,得到疏水劑...
      • 本發(fā)明涉及高精度加速度計技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種基于微納技術(shù)的雙軸硅電容高精度加速度計,包括兩個同軸設(shè)置的微機(jī)械傳感單元,兩個微機(jī)械傳感單元上下相互垂直設(shè)置,微機(jī)械傳感單元包括硅襯底,硅襯底的上方設(shè)置有敏感質(zhì)量塊,硅襯底與敏感質(zhì)量塊之間對稱...
      • 本實用新型公開了一種聲屏障運(yùn)輸疊放分離保護(hù)裝置,涉及聲屏障運(yùn)輸技術(shù)領(lǐng)域,包括固定架,所述固定架的外壁安裝有定位桿,所述定位桿的外壁安裝有擋板,所述擋板的外壁安裝有隔離套,所述固定架的外壁安裝有調(diào)節(jié)桿。本實用新型通過設(shè)置的調(diào)節(jié)桿、調(diào)節(jié)套、限位...
      • 本申請涉及機(jī)械電子技術(shù)領(lǐng)域,且公開了一種用于電動車儀表盤的周轉(zhuǎn)盒,包括底座周轉(zhuǎn)盒與拓展周轉(zhuǎn)盒,所述底座周轉(zhuǎn)盒與拓展周轉(zhuǎn)盒的上表面均開設(shè)有多個呈圓周分布的放置槽,多個所述放置槽的內(nèi)壁均開設(shè)有滑動槽,多個所述滑動槽的內(nèi)壁均滑動連接有滑動件。該一...
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