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                  		微觀裝置的制造及其處理技術
                  	
                  
      
                
      
                
      
                    
        
					
						
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								      本發明涉及一種MEMS慣性器件結構及制作方法；包括從上至下依次鍵合的上蓋板、器件層和基底，所述器件層具有敏感刻蝕區域和非敏感區域，所述敏感刻蝕區域經刻蝕形成有慣性器件敏感結構，所述非敏感區域設有劃片道，所述劃片道上經刻蝕形成有第一刻透區，所...
								
        
							
        
							
						
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								      一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置，該MEMS器件包括：半導體襯底；設置于半導體襯底上的可動結構，可動結構包括支撐部和懸臂部，其中，懸臂部在垂直于半導體襯底表面方向上與半導體襯底間隔設置，支撐部連接于半導體襯底與懸臂部之間；以及，設置于...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及一種信號觸發機構，信號觸發機構包括車輛鎖具的基座、棘輪和棘爪，棘輪上設置有第一嚙合面，第一嚙合面處設置有外露的第一導電部，棘爪上設置有第二嚙合面，第二嚙合面處設置有外露的第二導電部，第一導電部和第二導電部構成信號開關；當第一嚙合面...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明提供了一種圖形化薄膜結構的制備方法，涉及微器件制備領域。本發明在進行刻蝕前，在介質層上形成光刻膠圖形和導電膜層，該導電膜層對拐角不敏感，臺階覆蓋性和厚度均一性較好，具有一定的導電性。在不改變原有的刻蝕條件下，通過增加導電膜層，使得在刻...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明提供了一種圖形化薄膜結構的制備方法，涉及微器件制備領域。本發明中，采用相同的刻蝕速率對第一介質層和光刻膠圖形進行刻蝕，從而將第一介質層刻蝕形成目標圖形，目標圖形與光刻膠圖形相同，在刻蝕完成后，目標圖形的側壁底部會形成缺口，本發明針對形...
								
        
							
        
							
						
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								      MEMS設備通過以下方式獲得：在半導體本體上形成臨時偏置結構；以及在半導體本體上形成致動線圈，致動線圈至少具有一個第一端匝、一個第二端匝、以及中間匝，中間匝被布置在第一端匝和第二端匝之間，并且通過臨時偏置結構被電耦合至第一端匝。以此方式，在...
								
        
							
        
							
						
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								      MEMS致動器由以下部件形成：基底，圍繞腔體；可變形結構，懸置在腔體上；致動結構，由第一壓電材料的第一壓電區域形成，由可變形結構支撐并且被配置為引起可變形結構的變形；以及檢測結構，由第二壓電材料的第二壓電區域形成，由可變形結構支撐并且被配置...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明提供了一種氣相色譜芯片結構及其制備方法，通過在硅基板設置貫穿所述硅基板的蛇形或螺旋形微溝道、載氣通道以及檢測腔體，采用鍵合上下蓋板密封形成三明治結構的完整流路，從而實現微溝道、載氣通道以及檢測腔體的三維集成，進而消除分立器件的連接管路...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種T細胞檢測試劑盒，包括上下分布的上盒體和下盒體，所述上盒體和下盒體的后端面通過合頁鉸接，所述上盒體和下盒體的前端面均開設有沿其長度方向深入的保冷槽，所述保冷槽內設置有保冷袋，所述保冷槽的開口處設置有密封蓋并通過緊固件鎖緊...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明為汽車門鎖技術領域，提出一種門鎖自動上鎖機構，包括：卡板、棘爪和安裝板，卡板和棘爪分別轉動設于安裝板上，且卡板和棘爪在安裝板上設有對應的彈性復位部，在安裝板上設有鎖槽，卡板和棘爪分別位于鎖槽的兩側，驅使卡板經過鎖槽與棘爪卡接。通過獨特...
								
        
							
        
							
						
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								      本申請公開了一種車門鎖扣控制方法、裝置及車輛，涉及車輛控制技術領域。方法包括：在檢測到車門開啟的情況下，獲取車門動作信號；根據車門動作信號，確定車門的動作方向和車門的實時行程；動作方向包括打開方向和關閉方向；根據動作方向和實時行程，控制門鎖...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型提供一種設備進出艙室時保護裝置，包括兩端開口的筒體，所述筒體通過過渡接頭與艙口固定，還包括與所述筒體上端外側壁固定連接的操作平臺，所述筒體下端側壁設有供設備進出的通口，還包括可與所述筒體頂端開口開啟閉合的頂蓋，所述頂蓋里側設有滑輪...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種采用活動支撐的微鏡結構及制造方法，微鏡結構包括：設于襯底上的微橋結構，所述微橋結構包括支撐及電連接柱，和活動支撐于所述支撐及電連接柱上的微橋橋面；所述微橋橋面上設有微鏡鏡面，所述微鏡鏡面與所述支撐及電連接柱之間形成電連接，所...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種可開關控制的雙工作波段高品質因子超表面傳感器及系統。本發明的超表面傳感器包括襯底和全電介質超表面結構陣列；全電介質超表面結構陣列包括若干個全電介質超表面結構單元，所述的全電介質超表面結構單元呈四葉草結構，由四個半徑大小相等的...
								
        
							
        
							
						
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								      本申請的實施方式涉及用于制造具有移動結構的微機電裝置、特別是微鏡的方法。底部半導體區域被形成為包括：主子區域，延伸穿過覆蓋半導體晶片的底部介電區域；以及次子區域，次子區域覆蓋底部介電區域并圍繞主子區域。第一頂部腔室和第二頂部腔室被形成為穿過...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種微機電傳感器及其制造方法，微機電傳感器包括：埋層，包括多個第一增高區域；位于埋層上的多個檢測電極和多個布線電極，多個檢測電極分別覆蓋多個第一增高區域；位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個檢測電極和多個布線...
								
        
							
        
							
						
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								      公開了一種微機電傳感器及其制造方法，微機電傳感器包括：位于襯底上的埋層，埋層上設置有多個檢測電極和多個布線電極；位于多個檢測電極和多個布線電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個檢測電極和多個布線電極互不接觸；位于扭擺臂上方的扭擺和多個可動扭擺塊，多...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明公開了一種基于氧化鈣的疏水改性來加熱保溫食品的方法，屬于功能材料領域。本發明所述的一種基于氧化鈣的疏水改性來加熱保溫食品的方法，采用了疏水改性的氧化鈣；其中，疏水改性的氧化鈣的制備方法包括如下步驟：(1)將疏水劑溶于溶劑中，得到疏水劑...
								
        
							
        
							
						
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								      本發明涉及高精度加速度計技術領域，特別是涉及一種基于微納技術的雙軸硅電容高精度加速度計，包括兩個同軸設置的微機械傳感單元，兩個微機械傳感單元上下相互垂直設置，微機械傳感單元包括硅襯底，硅襯底的上方設置有敏感質量塊，硅襯底與敏感質量塊之間對稱...
								
        
							
        
							
						
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								      本實用新型公開了一種聲屏障運輸疊放分離保護裝置，涉及聲屏障運輸技術領域，包括固定架，所述固定架的外壁安裝有定位桿，所述定位桿的外壁安裝有擋板，所述擋板的外壁安裝有隔離套，所述固定架的外壁安裝有調節桿。本實用新型通過設置的調節桿、調節套、限位...
								
        
							
        
							
						
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