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微觀(guān)裝置的制造及其處理技術(shù)

MEMS慣性器件結(jié)構(gòu)及制作方法

本發(fā)明涉及一種MEMS慣性器件結(jié)構(gòu)及制作方法；包括從上至下依次鍵合的上蓋板、器件層和基底，所述器件層具有敏感刻蝕區(qū)域和非敏感區(qū)域，所述敏感刻蝕區(qū)域經(jīng)刻蝕形成有慣性器件敏感結(jié)構(gòu)，所述非敏感區(qū)域設(shè)有劃片道，所述劃片道上經(jīng)刻蝕形成有第一刻透區(qū)，所...

2025-08-20
MEMS器件及其制備方法、電子裝置

一種MEMS器件及其制備方法、電子裝置，該MEMS器件包括：半導(dǎo)體襯底；設(shè)置于半導(dǎo)體襯底上的可動(dòng)結(jié)構(gòu)，可動(dòng)結(jié)構(gòu)包括支撐部和懸臂部，其中，懸臂部在垂直于半導(dǎo)體襯底表面方向上與半導(dǎo)體襯底間隔設(shè)置，支撐部連接于半導(dǎo)體襯底與懸臂部之間；以及，設(shè)置于...

2025-08-20
一種信號(hào)觸發(fā)機(jī)構(gòu)、車(chē)輛鎖具及車(chē)輛

本發(fā)明涉及一種信號(hào)觸發(fā)機(jī)構(gòu)，信號(hào)觸發(fā)機(jī)構(gòu)包括車(chē)輛鎖具的基座、棘輪和棘爪，棘輪上設(shè)置有第一嚙合面，第一嚙合面處設(shè)置有外露的第一導(dǎo)電部，棘爪上設(shè)置有第二嚙合面，第二嚙合面處設(shè)置有外露的第二導(dǎo)電部，第一導(dǎo)電部和第二導(dǎo)電部構(gòu)成信號(hào)開(kāi)關(guān)；當(dāng)?shù)谝粐Ш厦?..

2025-08-20
具有通過(guò)電磁致動(dòng)控制的可傾斜懸置結(jié)構(gòu)的MEMS設(shè)備

MEMS設(shè)備通過(guò)以下方式獲得：在半導(dǎo)體本體上形成臨時(shí)偏置結(jié)構(gòu)；以及在半導(dǎo)體本體上形成致動(dòng)線(xiàn)圈，致動(dòng)線(xiàn)圈至少具有一個(gè)第一端匝、一個(gè)第二端匝、以及中間匝，中間匝被布置在第一端匝和第二端匝之間，并且通過(guò)臨時(shí)偏置結(jié)構(gòu)被電耦合至第一端匝。以此方式，在...

2025-08-20
一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法

本發(fā)明提供了一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法，涉及微器件制備領(lǐng)域。本發(fā)明在進(jìn)行刻蝕前，在介質(zhì)層上形成光刻膠圖形和導(dǎo)電膜層，該導(dǎo)電膜層對(duì)拐角不敏感，臺(tái)階覆蓋性和厚度均一性較好，具有一定的導(dǎo)電性。在不改變?cè)械目涛g條件下，通過(guò)增加導(dǎo)電膜層，使得在刻...

2025-08-20
一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法

本發(fā)明提供了一種圖形化薄膜結(jié)構(gòu)的制備方法，涉及微器件制備領(lǐng)域。本發(fā)明中，采用相同的刻蝕速率對(duì)第一介質(zhì)層和光刻膠圖形進(jìn)行刻蝕，從而將第一介質(zhì)層刻蝕形成目標(biāo)圖形，目標(biāo)圖形與光刻膠圖形相同，在刻蝕完成后，目標(biāo)圖形的側(cè)壁底部會(huì)形成缺口，本發(fā)明針對(duì)形...

2025-08-20
具有變形傳感器的壓電致動(dòng)器及其制造方法

MEMS致動(dòng)器由以下部件形成：基底，圍繞腔體；可變形結(jié)構(gòu)，懸置在腔體上；致動(dòng)結(jié)構(gòu)，由第一壓電材料的第一壓電區(qū)域形成，由可變形結(jié)構(gòu)支撐并且被配置為引起可變形結(jié)構(gòu)的變形；以及檢測(cè)結(jié)構(gòu)，由第二壓電材料的第二壓電區(qū)域形成，由可變形結(jié)構(gòu)支撐并且被配置...

2025-08-20
氣相色譜芯片結(jié)構(gòu)及其制備方法

本發(fā)明提供了一種氣相色譜芯片結(jié)構(gòu)及其制備方法，通過(guò)在硅基板設(shè)置貫穿所述硅基板的蛇形或螺旋形微溝道、載氣通道以及檢測(cè)腔體，采用鍵合上下蓋板密封形成三明治結(jié)構(gòu)的完整流路，從而實(shí)現(xiàn)微溝道、載氣通道以及檢測(cè)腔體的三維集成，進(jìn)而消除分立器件的連接管路...

2025-08-20
一種T細(xì)胞檢測(cè)試劑盒

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種T細(xì)胞檢測(cè)試劑盒，包括上下分布的上盒體和下盒體，所述上盒體和下盒體的后端面通過(guò)合頁(yè)鉸接，所述上盒體和下盒體的前端面均開(kāi)設(shè)有沿其長(zhǎng)度方向深入的保冷槽，所述保冷槽內(nèi)設(shè)置有保冷袋，所述保冷槽的開(kāi)口處設(shè)置有密封蓋并通過(guò)緊固件鎖緊...

2025-08-20
一種門(mén)鎖自動(dòng)上鎖機(jī)構(gòu)

本發(fā)明為汽車(chē)門(mén)鎖技術(shù)領(lǐng)域，提出一種門(mén)鎖自動(dòng)上鎖機(jī)構(gòu)，包括：卡板、棘爪和安裝板，卡板和棘爪分別轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)于安裝板上，且卡板和棘爪在安裝板上設(shè)有對(duì)應(yīng)的彈性復(fù)位部，在安裝板上設(shè)有鎖槽，卡板和棘爪分別位于鎖槽的兩側(cè)，驅(qū)使卡板經(jīng)過(guò)鎖槽與棘爪卡接。通過(guò)獨(dú)特...

2025-08-20
一種車(chē)門(mén)鎖扣控制方法、裝置及車(chē)輛

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種車(chē)門(mén)鎖扣控制方法、裝置及車(chē)輛，涉及車(chē)輛控制技術(shù)領(lǐng)域。方法包括：在檢測(cè)到車(chē)門(mén)開(kāi)啟的情況下，獲取車(chē)門(mén)動(dòng)作信號(hào)；根據(jù)車(chē)門(mén)動(dòng)作信號(hào)，確定車(chē)門(mén)的動(dòng)作方向和車(chē)門(mén)的實(shí)時(shí)行程；動(dòng)作方向包括打開(kāi)方向和關(guān)閉方向；根據(jù)動(dòng)作方向和實(shí)時(shí)行程，控制門(mén)鎖...

2025-08-20
一種設(shè)備進(jìn)出艙室時(shí)保護(hù)裝置

本實(shí)用新型提供一種設(shè)備進(jìn)出艙室時(shí)保護(hù)裝置，包括兩端開(kāi)口的筒體，所述筒體通過(guò)過(guò)渡接頭與艙口固定，還包括與所述筒體上端外側(cè)壁固定連接的操作平臺(tái)，所述筒體下端側(cè)壁設(shè)有供設(shè)備進(jìn)出的通口，還包括可與所述筒體頂端開(kāi)口開(kāi)啟閉合的頂蓋，所述頂蓋里側(cè)設(shè)有滑輪...

2025-08-20
一種采用活動(dòng)支撐的微鏡結(jié)構(gòu)及制造方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種采用活動(dòng)支撐的微鏡結(jié)構(gòu)及制造方法，微鏡結(jié)構(gòu)包括：設(shè)于襯底上的微橋結(jié)構(gòu)，所述微橋結(jié)構(gòu)包括支撐及電連接柱，和活動(dòng)支撐于所述支撐及電連接柱上的微橋橋面；所述微橋橋面上設(shè)有微鏡鏡面，所述微鏡鏡面與所述支撐及電連接柱之間形成電連接，所...

2025-08-20
可開(kāi)關(guān)控制的雙工作波段高品質(zhì)因子超表面?zhèn)鞲衅骷跋到y(tǒng)

本發(fā)明公開(kāi)了一種可開(kāi)關(guān)控制的雙工作波段高品質(zhì)因子超表面?zhèn)鞲衅骷跋到y(tǒng)。本發(fā)明的超表面?zhèn)鞲衅靼ㄒr底和全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)陣列；全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)陣列包括若干個(gè)全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)單元，所述的全電介質(zhì)超表面結(jié)構(gòu)單元呈四葉草結(jié)構(gòu)，由四個(gè)半徑大小相等的...

2025-08-20
用于制造具有移動(dòng)結(jié)構(gòu)的微機(jī)電裝置、特別是微鏡的方法

本申請(qǐng)的實(shí)施方式涉及用于制造具有移動(dòng)結(jié)構(gòu)的微機(jī)電裝置、特別是微鏡的方法。底部半導(dǎo)體區(qū)域被形成為包括：主子區(qū)域，延伸穿過(guò)覆蓋半導(dǎo)體晶片的底部介電區(qū)域；以及次子區(qū)域，次子區(qū)域覆蓋底部介電區(qū)域并圍繞主子區(qū)域。第一頂部腔室和第二頂部腔室被形成為穿過(guò)...

2025-08-20
微機(jī)電傳感器及其制造方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種微機(jī)電傳感器及其制造方法，微機(jī)電傳感器包括：埋層，包括多個(gè)第一增高區(qū)域；位于埋層上的多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線(xiàn)電極，多個(gè)檢測(cè)電極分別覆蓋多個(gè)第一增高區(qū)域；位于多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線(xiàn)電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線(xiàn)...

2025-08-20
微機(jī)電傳感器及其制造方法

公開(kāi)了一種微機(jī)電傳感器及其制造方法，微機(jī)電傳感器包括：位于襯底上的埋層，埋層上設(shè)置有多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線(xiàn)電極；位于多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線(xiàn)電極上方的扭擺臂，扭擺臂、多個(gè)檢測(cè)電極和多個(gè)布線(xiàn)電極互不接觸；位于扭擺臂上方的扭擺和多個(gè)可動(dòng)扭擺塊，多...

2025-08-20
一種基于氧化鈣的疏水改性來(lái)加熱保溫食品的方法

本發(fā)明公開(kāi)了一種基于氧化鈣的疏水改性來(lái)加熱保溫食品的方法，屬于功能材料領(lǐng)域。本發(fā)明所述的一種基于氧化鈣的疏水改性來(lái)加熱保溫食品的方法，采用了疏水改性的氧化鈣；其中，疏水改性的氧化鈣的制備方法包括如下步驟：(1)將疏水劑溶于溶劑中，得到疏水劑...

2025-08-20
一種基于微納技術(shù)的雙軸硅電容高精度加速度計(jì)

本發(fā)明涉及高精度加速度計(jì)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種基于微納技術(shù)的雙軸硅電容高精度加速度計(jì)，包括兩個(gè)同軸設(shè)置的微機(jī)械傳感單元，兩個(gè)微機(jī)械傳感單元上下相互垂直設(shè)置，微機(jī)械傳感單元包括硅襯底，硅襯底的上方設(shè)置有敏感質(zhì)量塊，硅襯底與敏感質(zhì)量塊之間對(duì)稱(chēng)...

2025-08-20
一種聲屏障運(yùn)輸疊放分離保護(hù)裝置

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種聲屏障運(yùn)輸疊放分離保護(hù)裝置，涉及聲屏障運(yùn)輸技術(shù)領(lǐng)域，包括固定架，所述固定架的外壁安裝有定位桿，所述定位桿的外壁安裝有擋板，所述擋板的外壁安裝有隔離套，所述固定架的外壁安裝有調(diào)節(jié)桿。本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置的調(diào)節(jié)桿、調(diào)節(jié)套、限位...

2025-08-20

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